Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255637 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un équipement graveur/asher qui est utilisé pour la gravure de précision et l'ashing des circuits intégrés. C'est un système très fiable et avancé qui est conçu pour le développement de processus et des applications de production automatisées. Il est capable d'atteindre une grande homogénéité avec des taux de vide très faibles. L'unité se compose d'une chambre à vide avec deux électrodes, un chauffage, une unité de contrôle et une machine d'injection de gaz. L'outil d'injection de gaz est utilisé pour assurer une vitesse de gravure élevée et la chambre est équipée de systèmes spéciaux de nettoyage à plasma qui assurent un processus de gravure propre. La chambre peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 pouces, et le chauffage peut aller de -20 ° à 400 + ° C L'unité de contrôle est capable de contrôler tous les paramètres du processus de gravure, tels que la température, la pression, le débit de gaz, le temps de gravure, et plus encore. L'actif est capable de graver une variété de matériaux tels que le silicium, le nitrure de silicium, le silicium polycristallin, etc. Il peut également être utilisé pour graver des vias traversants de silicium, ou TSV, pour former des circuits intégrés tridimensionnels. Le Kiyo45 dispose d'une profondeur de 45nm et d'une résolution de 1-200nm. Il a également une cote de vide de 10-7 torr à un torr. Le modèle est capable de fournir une gravure très uniforme sur l'ensemble de la plaquette et a un processus très reproductible. Son équipement optionnel de surveillance des processus permet une rétroaction en temps réel du processus de gravure. Il est également livré avec plusieurs caractéristiques de sécurité, telles que plusieurs zones d'interception et des systèmes d'épuration spécialisés qui sont conçus pour protéger l'utilisateur contre les dangers. Le système Kiyo45 est également une unité écologique car il est conforme à toutes les réglementations environnementales applicables. Il ne nécessite pas de gaz chimiques dangereux, et toutes les particules dangereuses produites lors de la gravure sont rapidement nettoyées. Dans l'ensemble, ONTRAK 2300 Kiyo45 est une machine graveur/asher fiable et très polyvalente qui est idéale pour la gravure de précision des circuits intégrés, et d'autres processus photolithographiques. Il est bien adapté au développement de processus et aux opérations de production automatisées, et il est respectueux de l'environnement.