Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9312590
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Etcher, 12"
(3) Poly
FI Type:
Signal tower: 3-Color
(3) Loadports
ATM Robot
(13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station
Aligner
TM Configuration:
Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber
BROOKS Magatran 7 Robot
(4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223
HPS 970 TM Pressure gauge
MKS 640 Control
Loadlock pressure gauge: Hasting
Process module for PM1 / PM2 / PM3:
MKS Pressure gauge, 0.1Torr
VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve
EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias
Gas panel:
Type: IGS
16-Channels
MFC Type: SEC-Z313M
Gas / Range
CF4 / 50 SCCM
CH2F2 / 50 SCCM
H2 / 100 SCCM
SF6 / 10 SCCM
Ar / 500 SCCM
N2 / 100 SCCM
CHF6 / 200 SCCM
C2F6 / 200 SCCM
CF4 / 200 SCCM
SF6 / 200 SCCM
He / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
Cl2 / 200 SCCM
HBr / 50 SCCM
HBr / 500 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un outil de graveur/asher conçu pour produire des microstructures de haute précision avec des tailles de caractéristiques sub-microns. Cet outil est capable de graver jusqu'à 5 milles (127,0 μ m) de matériau en une seule passe, et de traiter des substrats de dimensions jusqu'à 12 "(305,8 mm). Il dispose de deux voies de gaz indépendantes, permettant la gravure de films métalliques et non métalliques, ainsi que d'alliages. L'outil a également une précision impressionnante de ± 0,005 mm (0,0002 «) et une répétabilité de ± 0,001 mm (0,00004 »), permettant aux utilisateurs de produire des composants de haute qualité rapidement et efficacement. L'unité graveur/asher est équipée d'une source de plasma à double source qui fournit une large gamme de profils de gravure et des vitesses de gravure uniformes. Il dispose également d'un laser CO2 de 15 W, qui peut appliquer une marque laser sur les pièces et dispose d'une caméra haute résolution pour surveiller le faisceau laser. L'ONTRAK 2300 Kiyo45 utilise une alimentation radio-fréquence avancée (RF) avec une option haute fréquence (HF), ce qui permet une répétabilité de freinage plus élevée et un meilleur débit de production. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 est chargé de fonctionnalités conviviales, y compris une interface d'écran tactile couleur, la reconnaissance automatique du substrat, les paramètres d'optimisation des processus et une large gamme de paramètres de processus. Il dispose également d'un système de vision rapide et précis pour fournir une détection d'identification précise et un alignement de substrat assisté par la vision. L'outil est conçu pour réduire les imperfections liées aux particules et maximiser le débit, et peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques des clients en matière de gravure et d'ashing. 2300 Kiyo45 est idéal pour produire des structures ultra-fines avec un rapport d'aspect élevé, de petites caractéristiques et des résidus post-gravure minimes, ce qui le rend parfait pour une variété d'applications de fabrication telles que les déplacements à panneaux plats, les composants aérospatiaux et les composants de dispositifs médicaux. Grâce à sa combinaison de contrôle de gravure précis, de précision exceptionnelle et de polyvalence, LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un choix idéal pour ceux qui recherchent un outil de graveur/asher fiable et précis.
Il n'y a pas encore de critiques