Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 à vendre en France

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ID: 9312590
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Etcher, 12" (3) Poly FI Type: Signal tower: 3-Color (3) Loadports ATM Robot (13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station Aligner TM Configuration: Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber BROOKS Magatran 7 Robot (4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223 HPS 970 TM Pressure gauge MKS 640 Control Loadlock pressure gauge: Hasting Process module for PM1 / PM2 / PM3: MKS Pressure gauge, 0.1Torr VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias Gas panel: Type: IGS 16-Channels MFC Type: SEC-Z313M Gas / Range CF4 / 50 SCCM CH2F2 / 50 SCCM H2 / 100 SCCM SF6 / 10 SCCM Ar / 500 SCCM N2 / 100 SCCM CHF6 / 200 SCCM C2F6 / 200 SCCM CF4 / 200 SCCM SF6 / 200 SCCM He / 500 SCCM O2 / 200 SCCM O2 / 20 SCCM Cl2 / 200 SCCM HBr / 50 SCCM HBr / 500 SCCM Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz 2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un outil de graveur/asher conçu pour produire des microstructures de haute précision avec des tailles de caractéristiques sub-microns. Cet outil est capable de graver jusqu'à 5 milles (127,0 μ m) de matériau en une seule passe, et de traiter des substrats de dimensions jusqu'à 12 "(305,8 mm). Il dispose de deux voies de gaz indépendantes, permettant la gravure de films métalliques et non métalliques, ainsi que d'alliages. L'outil a également une précision impressionnante de ± 0,005 mm (0,0002 «) et une répétabilité de ± 0,001 mm (0,00004 »), permettant aux utilisateurs de produire des composants de haute qualité rapidement et efficacement. L'unité graveur/asher est équipée d'une source de plasma à double source qui fournit une large gamme de profils de gravure et des vitesses de gravure uniformes. Il dispose également d'un laser CO2 de 15 W, qui peut appliquer une marque laser sur les pièces et dispose d'une caméra haute résolution pour surveiller le faisceau laser. L'ONTRAK 2300 Kiyo45 utilise une alimentation radio-fréquence avancée (RF) avec une option haute fréquence (HF), ce qui permet une répétabilité de freinage plus élevée et un meilleur débit de production. LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 est chargé de fonctionnalités conviviales, y compris une interface d'écran tactile couleur, la reconnaissance automatique du substrat, les paramètres d'optimisation des processus et une large gamme de paramètres de processus. Il dispose également d'un système de vision rapide et précis pour fournir une détection d'identification précise et un alignement de substrat assisté par la vision. L'outil est conçu pour réduire les imperfections liées aux particules et maximiser le débit, et peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques des clients en matière de gravure et d'ashing. 2300 Kiyo45 est idéal pour produire des structures ultra-fines avec un rapport d'aspect élevé, de petites caractéristiques et des résidus post-gravure minimes, ce qui le rend parfait pour une variété d'applications de fabrication telles que les déplacements à panneaux plats, les composants aérospatiaux et les composants de dispositifs médicaux. Grâce à sa combinaison de contrôle de gravure précis, de précision exceptionnelle et de polyvalence, LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un choix idéal pour ceux qui recherchent un outil de graveur/asher fiable et précis.
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