Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589469 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un graveur sec ou cendrier qui fournit un procédé efficace et uniforme de gravure du plasma ou de dépôt de cendres. Cette unité de traitement à haut débit est une solution fiable pour les procédés de gravure plasma, de dépôt de cendres et d'uniformité des tranches traversantes utilisés dans les industries des semi-conducteurs, des MEMS et de l'électronique. ONTRAK Kiyo 45 dispose d'une chambre de traitement à deux zones, avec une grande chambre principale de traitement et une deuxième chambre plus petite utilisée pour le traitement pré-propre et post-propre. La chambre principale comporte un étage cible de gravure plat, capable de supporter jusqu'à 20 substrats. L'étape cible comporte également une fonction de cartographie substrat-plaquette pour assurer un dépôt uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'unité comprend également une doublure en quartz et un système de nettoyage plasma in situ pour un contrôle précis de la vitesse de gravure ou de dépôt et de l'uniformité. LAM RESEARCH Kiyo 45 peut être utilisé soit sous vide, soit sous vide. Une large gamme de combinaisons de gaz et de mélanges de gaz peut être utilisée, permettant le traitement de matériaux allant de GaAs, SiGe, AlN, et de carbone diamant. Le système comprend également un générateur de puissance RF/DC automatisé, permettant un contrôle précis de la vitesse de gravure ou de dépôt. En termes de sécurité, le Kiyo 45 dispose d'une fonction d'arrêt automatisé en cas d'urgence, tandis que le moniteur de vide intégré et le détecteur sensible aux ions offrent une approche d'arrêt manuel pour le processus de gravure. De plus, une variété de dispositifs de sécurité, tels que des moniteurs de fuite de gaz, des vannes de purge sans éclat et un détecteur de fuite haute fréquence, contribuent à la sécurité globale du dispositif. En conclusion, LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un graveur/asher clé en main conçu pour permettre un processus efficace, fiable et uniforme de gravure ou de dépôt de cendres pour un large éventail d'applications. Ses caractéristiques de sécurité et de débit, ainsi que sa facilité d'utilisation et d'intégration dans une variété d'opérations de production et de recherche font d'ONTRAK Kiyo 45 un excellent choix pour ceux qui recherchent un procédé fiable de gravure à haut débit ou de dépôt.