Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589528 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un graveur/cendrier conçu pour la gravure humide de précision de substrats de grande valeur tels que les composants III-V, les plaquettes ultra-minces et les circuits intégrés en silicium (IC). Ces graveurs/cendres de pointe offrent une solution pour repenser et modifier les caractéristiques descendantes des produits existants et réaliser le potentiel des architectures d'appareils avancées. Le Kiyo 45 d'ONTRAK est composé de deux composants principaux : la chambre de procédés et l'équipement de contrôle. La chambre de procédés est une enceinte en acier inoxydable de fabrication précise contenant les sources d'excitation et les zones thermiques, et utilisant une solution de gravure re-distribuée. Ses caractéristiques de conception comprennent une enceinte en acier inoxydable qui répond aux exigences de vide haute performance, un système de poids suspendu pour minimiser les vibrations et une plaque de base optimisée pour une uniformité de température maximale. Le panache à jet d'eau haute performance, généré par les sources d'excitation double, produit des géométries parfaitement alignées et répétables avec une capacité de traitement à basse température pour les matériaux de circuit intégré (IC) sujets aux dommages. LAM RESEARCH L'unité de contrôle de Kiyo 45 se compose d'un moteur d'automatisation embarqué haute performance, d'un moniteur en temps réel et d'une machine d'interception de sécurité. L'outil offre un contrôle total du processus de gravure de A à Z, y compris le profil et la mise en place d'un processus en une étape, la surveillance et le contrôle des processus en temps réel, les interactions entre les systèmes et le matériel pour la protection, et plusieurs recettes de processus avancées pour la gravure de substrats de haute valeur. L'interface graphique conviviale permet un accès facile aux paramètres du processus, affiche l'état du processus en temps réel et fournit un diagnostic complet de tous les paramètres du processus. Kiyo 45 est conforme CE, entièrement automatisé et nécessite une intervention minimale de l'opérateur qui assure la répétabilité et la reproductibilité du processus. L'etcher peut être utilisé efficacement pour la refonte et la modification de haute précision des composants existants, et la réalisation d'architectures de dispositifs qui nécessitent des fonctionnalités profondes. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 offre également un modèle de verrouillage de sécurité et des fonctions intégrées de surveillance et de contrôle qui aident à garantir des résultats cohérents et de haute qualité. De plus, il peut également être utilisé efficacement pour diverses applications telles que la gravure de tranchées, l'amincissement de plaquettes, la réparation de photomasques et la fabrication fiable de dispositifs MEMS.