Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9098962 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 Etcher/Asher est un matériel conçu pour graver ou déposer des films minces sur un substrat. L'unité est un équipement monocouche et monocouche qui utilise la technologie des sources de plasma pour obtenir des résultats de gravure et de cueillette supérieurs. Il est capable de manipuler une variété de tailles de plaquettes, de 2 « (50 mm) à 8 » (203,2 mm) de diamètre. La chambre de procédé est une enceinte étanche en acier inoxydable équipée d'une paroi supérieure en quartz. Cela permet un chauffage et un refroidissement rapides, et assure la compatibilité avec les matières corrosives et dangereuses. La chambre a un design unique, double plaque qui permet une meilleure isolation et un meilleur contrôle du processus. Il est également équipé de transducteurs de pression sophistiqués pour maintenir l'intégrité et le rendement du processus. ONTRAK Kiyo 45 offre également une technologie de source de plasma de pointe qui produit une large gamme de niveaux de puissance et la flexibilité de la recette de processus. Il permet une gravure et un cendrage simultanés sans endommagement du substrat, et offre une gravure et un dépôt de couches ultra minces, ainsi qu'une gravure directionnelle et anisotrope. L'unité est également équipée d'un système de vide robuste, permettant une évacuation rapide et des temps de traitement optimisés. LAM RESEARCH Kiyo 45 dispose d'un haut niveau d'automatisation et de contrôle de l'opérateur. Il offre une interface utilisateur graphique intuitive (UI) et des fonctionnalités complètes de gestion des données. Il fournit un suivi et un suivi avancés des processus, ainsi qu'un rappel détaillé des recettes et une répétabilité. Couplé à un kit de processus ONTRAK compatible, le Kiyo 45 offre une solution complète de gravure et d'ashing. Cela comprend une alimentation électrique, une unité de distribution de gaz, une machine visuelle, un outil RF, une armoire électronique et des accessoires supplémentaires. Avec sa puissante combinaison de matériel et de logiciels, LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 peut graver et déposer des films minces pour obtenir des résultats supérieurs.