Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298319 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour des applications de microfabrication de précision. ONTRAK Kiyo 45 est un système intégré qui combine deux processus indépendants - gravure ionique réactive (RIE) et cendrage profond - en une seule plate-forme pour offrir une efficacité et des performances maximales. En utilisant une seule chambre de traitement haute pression, l'unité peut opérer les deux procédés simultanément ou séparément pour permettre la gravure et le cendrage de films multicouches. LAM RESEARCH Kiyo 45 est conçu pour obtenir des résultats optimaux avec une taille maximale du substrat de 6,5 « x6,5 », avec des niveaux élevés de répétabilité avec uniformité dans les taux de gravure. Il dispose d'une machine AutoGain Control qui maintient la puissance de la chambre de processus pour améliorer le contrôle et la répétabilité des processus à chaque fois. La turbomachine à lévitation magnétique améliorée réduit également les niveaux de vibration pour un traitement plus précis. Kiyo 45 fournit également un contrôle de profil de gravure supérieur en raison de son débit de gaz réglable, et un contrôleur programmable qui permet à l'utilisateur de modifier individuellement les paramètres du processus comme la pression, le débit total et la composition du débit de gaz. L'outil offre également la flexibilité nécessaire pour stocker, rappeler et exécuter un certain nombre de flux de processus définis par l'utilisateur. En plus d'offrir un contrôle précis et une grande précision, LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 offre également de nombreux avantages en matière de sécurité pour la protection des utilisateurs, des opérateurs et de l'environnement pendant le traitement. Il dispose d'un outil de surveillance des capteurs de veille à trois niveaux qui vérifie les niveaux de sécurité à chaque étape du processus pour prévenir les accidents. La chambre de procédé est entièrement enfermée dans un modèle de décollement de l'azote pour assurer le confinement sécuritaire des vapeurs chimiques pendant le fonctionnement, et sa compatibilité avec les matériaux prévient les dangers potentiels des matières dangereuses. L'équipement de contrôle de processus intégré ONTRAK Kiyo 45 offre des contrôles intuitifs pour permettre un fonctionnement efficace et un entretien facile. Le système offre également un accès à distance pour le service et les améliorations, ainsi que des outils de mesure avancés pour l'analyse des données des processus de gravure. En fin de compte, LAM RESEARCH Kiyo 45 fournit une plate-forme fiable pour les applications de microfabrication, offrant aux utilisateurs une solution avancée de gravure et de cendrage avec des performances et une flexibilité supérieures.