Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298320 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un graveur d'ions réactif (RIE) conçu pour la gravure contrôlée de matériaux semi-conducteurs. Il est capable de gravure à haut rapport d'aspect avec un contrôle précis du profil, grâce à son puissant générateur de plasma et son système de pompage à vide. L'ONTRAK Kiyo 45 est équipé d'une seule électrode multi-axes réglable pour contrôler avec précision le profil de gravure et la vitesse de gravure. La chambre de gravure est construite en acier inoxydable et est conçue pour résister au haut vide et au cycle thermique du processus de gravure par plasma. LAM RESEARCH Kiyo 45 utilise une chambre de réaction équipée d'un générateur de plasma couplé inductivement. Le générateur de plasma produit un environnement plasma à haute énergie, à faible vide, qui permet la formation d'une espèce réactive nécessaire à la gravure avec une excellente sélectivité et une grande vitesse de gravure à travers l'épaisseur. Le Kiyo 45 est équipé du générateur de plasma, de la pompe à vide et des alimentations électriques, ce qui permet de réaliser la gravure dans plusieurs modes de cuisson standard, y compris des recettes en une seule étape et en plusieurs étapes. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 peut être utilisé pour graver des substrats monocouches ou multicouches dans plusieurs chimies classiques de gravure telles que le trifluoroéthanol (TFE) et trois hydrocarbures fluorés (TFE, CF4 et SF6). ONTRAK Kiyo 45 permet également à ses utilisateurs de programmer des recettes de gravure personnalisées et optimisées pour des processus de gravure plus complexes. Il est capable de processus de nettoyage à la fois humides et secs, ce qui permet un degré élevé de propreté de la chambre et réduit la contamination de fond. Au cœur de LAM RESEARCH Kiyo 45 se trouve sa conception éprouvée d'électrodes multi-axes (MAE). Le MAE est une caractéristique exclusive du Kiyo 45 qui est optimisé pour la gravure rapide, très anisotrope et fine ligne de substrats semi-conducteurs exigeants. Le MAE est une électrode entièrement accordable qui fournit un contrôle de gravure de précision et dispose d'électrodes réglables pour permettre des rapports d'aspect plus élevés et des gravures plus complexes. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 a une flexibilité totale de processus et est conçu pour fonctionner dans un environnement flexible. Il est hautement automatisé et supporte diverses fonctions de collecte, d'analyse et de journalisation des données pour une traçabilité complète des processus. ONTRAK Kiyo 45 est également équipé d'une interface utilisateur graphique (UI) conviviale pour le contrôle et la surveillance des processus. En résumé, LAM RESEARCH Kiyo 45 est conçu pour la gravure de précision de matériaux semi-conducteurs exigeants avec une excellente sélectivité et un taux de gravure élevé dans les chimies de gravure sèche et humide. Ses systèmes avancés d'électrodes multi-axes (MAE) et de générateurs de plasma permettent une gravure en ligne fine hautement anisotrope avec des électrodes réglables, permettant des rapports d'aspect élevés et des gravures complexes. L'interface utilisateur graphique (interface graphique) et la flexibilité des processus de Kiyo 45 en font un excellent choix pour la gravure de matériaux semi-conducteurs exigeants.