Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9375193 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est un puissant graveur/asher pour substrats. Il est conçu comme un outil monobloc, permettant des processus de gravure et de cueillette précis et précis dans la fabrication courante de plaquettes. Il est équipé d'une source de radiofréquences (RF) à double source et multi-zones (RF) très performante qui permet d'effectuer simultanément des cendres à basse température et des gravures à haute température. Cela permet une excellente uniformité et répétabilité sur tous les processus lithographiques. L'outil fournit également une excellente répétabilité du motif sur la plaquette à travers une variété de substrats. ONTRAK Kiyo 45 dispose d'un équipement sophistiqué de contrôle des processus plasmatiques qui permet un réglage précis et l'uniformité sur la plaquette. Il fonctionne avec un système d'obturation avancé qui améliore le contrôle des processus et permet un transfert efficace des plaquettes. L'outil dispose également d'un spectromètre d'émission optique (OES) qui assure une surveillance en temps réel des paramètres plasmatiques, permettant un réglage en temps réel des processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH Kiyo 45 est construit à partir d'acier inoxydable de haute qualité et d'alliages d'aluminium, et dispose d'une unité de refroidissement très efficace, permettant de basses températures pendant la gravure et le cendrage. L'outil utilise la dernière technologie à haute performance Turbo Pump Vacuum avec d'excellents taux de pompage et de faibles niveaux de bruit. Il dispose également d'une alimentation RF de sortie 3 bars et d'une alimentation séparée, à fréquence variable et basse fréquence. Kiyo 45 dispose d'une machine de commande sur PC avec une interface graphique moderne, permettant la télécommande et la surveillance. L'outil fournit des paramètres de processus tels que la pression de la chambre, la puissance RF, les flux de gaz et les températures. Il dispose également de fonctions de surveillance et de diagnostic avancées ainsi que d'alarmes de sécurité des actifs. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 est conçu pour une productivité et une répétabilité optimales pour les processus de gravure et d'ashing. C'est un outil fiable et puissant pour toute application de lithographie. Avec sa construction robuste et sa technologie de pointe, il peut fournir des résultats optimaux même avec des matériaux plus difficiles.