Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518 à vendre en France
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Vendu
ID: 196518
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
ICP Poly etcher, 8"
Specifications:
Electrostatic Chuck
Envision Software
Heater jackets for turbo pump and Vat Valve
8 MFC Gas Box
Includes dry pumps for load lock and process chamber
Currently de-installed and in storage
1997 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est une solution de gravure compacte, performante et sèche pour les applications de gravure de substrat. L'équipement est capable de traiter des substrats d'une épaisseur allant jusqu'à 4mm, et son système sophistiqué de contrôle logiciel fournit un contrôle de haute précision des paramètres de processus et la répétabilité. Combinant des temps de cycle rapides et un contrôle sophistiqué des processus, ONTRAK TCP 9400 SE est un choix idéal pour la gravure et le traitement des substrats. L'unité est équipée d'une machine de distribution de gaz capable de délivrer de l'oxygène et du chlore à partir de deux réservoirs distincts. L'outil de distribution de gaz est conçu pour fournir un flux de gaz constant au substrat pendant le processus de gravure. En outre, l'actif a été conçu pour être facilement modernisable afin d'offrir des performances plus élevées. LAM RESEARCH TCP 9400 SE dispose de deux mandrins de procédé réglables indépendamment, contrôlés par la température, permettant la gravure de différents substrats en parallèle pour augmenter le débit. Une plaque chaude est également disponible pour le chauffage uniforme des substrats, et un clavier d'accès à distance complet permet un fonctionnement facile du modèle. En outre, l'équipement comprend un ensemble de refroidissement intégré pour assurer un contrôle précis de la température pendant les périodes de cycle de processus. Le système est livré avec une gamme d'accessoires et d'outils intégrés, y compris une sonde de gravure, des pinces et un outil de rodage pour les processus de précision. Les données issues de l'unité sont fournies dans des formats visuels et programmables, ce qui permet une analyse et un contrôle faciles des variables de processus. De plus, la machine offre une capacité de temps de cycle rapide grâce à sa commande en boucle fermée à grande vitesse. TCP 9400 SE est une solution de gravure fiable et polyvalente pour une gamme d'applications de gravure de substrat. Avec ses performances élevées et son contrôle de précision, il peut augmenter l'efficacité et le débit pour l'utilisateur. En outre, son logiciel avancé et ses accessoires intégrés permettent un accès et un contrôle faciles du processus de gravure.
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