Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134000 à vendre en France
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Vendu
ID: 9134000
Etcher, 8"
SMIF
General Configuration:
TCP 9400 Stand alone
Bulkhead
Hepa present: Yes
Indexer type: Standard, hine 38A
Control system classic or envision: Classic
Remote AC box: Yes
Chiller: RISSHI EX-1000 (l)
SMIF: LPT2200 (2)
TCP Generator: 660-024637-006, AE RFDS
Bias generator: 660-024637-003, AE RFG1250
Microwave: No
DSQ: No
Hinged DSQ: No
DSQ / MW Generator: No
Generators: No
Top match: Yes
Bottom match: Yes
Variable gap: No
Fixed gap: Yes
ESC: Yes
Clamped system: No
Backside He UPC: UNIT 50sccm UPC-1300
Backside He manometer: 853-017643-003,Tylan
Upgraded variable gap: No
VAT64: Yes; VAT valve system
VAT65: No
Turbo type: SEIKO SEIKI STP-H1000L
Endpoint detector type: 853-001983-005; 405/520um
Heated endpoint windows: Yes
Anafaze type: Yes
Gas box unit or orbital: Vertial
MFC #1: CI2-200 sccm; Area FC-780C
MFC #2: CF4-200 sccm; Area FC-770AC
MFC #3: 02-10 sccm: Area FC-780C
MFC #4: He-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #5: HBr-200 sccm: Area FC-780C
MFC #6: SF6-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #7: 02-200 sccm: Area FC-770AC
MFC #8: S02-100 sccm: Area FC-780C
MFC #10: No
MFC #11: No
MFC #12: No
WVDS: No
Autofill WVDS: No
Backside He regulator: No
Chamber manometer: Millipore CMH4-MllS19E; 0.1torr
Trubo manameter: 853-031540-001: MKS 625A11TDE; 10torr
Pumping line manameter: MKS 625AllTDE;10torr
Heartbeat PCB: 810-017012-002
Turbo / Controller: Yes
Turbo heaters: Yes
Bulkhead or ballroom components: Yes
Covers: Yes
Indexers: Yes
ELL: Yes
Chamber: Yes
VAT Assy and controller: Yes
XLL: Yes
Gas box: Yes
AC / DC box: Yes
Control enclosure: Yes
Upper match enclosure: Yes
Lower match enclosure: Yes
Calibration tool: Yes
Chamber parts: Yes (1) set
User manual: Yes
Pressure control: Yes
Cables arid harnessing:
Chiller signal interface cable: Yes
Chiller EMO cable: Yes
Chiller power cable: Yes
Generator signal interface cable: Yes
Generator EMO cable: Yes
Generator power cable: Yes
Remote AC box EMO cable: Yes
Etcher power cable: Yes
1996 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un équipement avancé de gravure et de cueillette conçu pour produire des résultats uniformes et reproductibles en utilisant des technologies de pointe. Ce système est particulièrement bien adapté aux procédés de gravure et d'ashing impliquant la réalisation de films minces, tels que des dispositifs semi-conducteurs. ONTRAK TCP 9400 SE utilise un générateur de radiofréquences (RF) pour fournir la puissance nécessaire aux opérations de gravure et de cueillette. Ce générateur RF est commandé par un ordinateur, permettant un contrôle précis des niveaux de puissance et de vitesse de l'opération de gravure. De plus, LAM RESEARCH TCP 9400 SE est équipé de capteurs de rétroaction avancés qui peuvent surveiller la vitesse de gravure et l'uniformité en temps réel, permettant un contrôle précis du processus de gravure. L'unité de gravure et de cueillette comprend également une chambre à vide, qui facilite le processus en fournissant un environnement contrôlé exempt de contaminants et d'autres particules en suspension dans l'air qui pourraient compromettre le processus. La chambre contribue également à maintenir des conditions de traitement constantes et à éliminer la contamination du substrat. TCP 9400 SE dispose de plusieurs fonctions de sécurité intégrées qui offrent une couche supplémentaire de protection pour les utilisateurs, comme un interrupteur d'arrêt d'urgence qui peut être activé si le processus ne se comporte pas comme prévu. Il est également équipé d'une machine de contrôle de la température et de l'humidité pour assurer des températures et des niveaux d'humidité constants qui sont nécessaires pour des opérations de gravure et de cueillette réussies. L'outil comprend également un moyen de refroidissement robuste qui permet d'assurer que l'opération de gravure et de cueillette est effectuée sans surchauffe du substrat. Ce modèle de refroidissement est équipé de capteurs de température multiples qui permettent au contrôleur de maintenir une température constante pour le processus. Enfin, LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est équipé d'un aspect avancé d'alimentation RF qui permet des mesures précises de tension de trace et de section, permettant un contrôle plus précis du processus de gravure. En tout, ONTRAK TCP 9400 SE fournit toutes les caractéristiques essentielles nécessaires à la réussite des processus de gravure et d'ashing. Avec son générateur RF avancé, sa chambre à vide, ses caractéristiques de sécurité, son équipement de refroidissement et son aspect d'alimentation RF, cette machine est un outil puissant et fiable pour produire des résultats uniformes et reproductibles dans les processus de gravure et de cueillette.
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