Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134000 à vendre en France

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ID: 9134000
Etcher, 8" SMIF General Configuration: TCP 9400 Stand alone Bulkhead Hepa present: Yes Indexer type: Standard, hine 38A Control system classic or envision: Classic Remote AC box: Yes Chiller: RISSHI EX-1000 (l) SMIF: LPT2200 (2) TCP Generator: 660-024637-006, AE RFDS Bias generator: 660-024637-003, AE RFG1250 Microwave: No DSQ: No Hinged DSQ: No DSQ / MW Generator: No Generators: No Top match: Yes Bottom match: Yes Variable gap: No Fixed gap: Yes ESC: Yes Clamped system: No Backside He UPC: UNIT 50sccm UPC-1300 Backside He manometer: 853-017643-003,Tylan Upgraded variable gap: No VAT64: Yes; VAT valve system VAT65: No Turbo type: SEIKO SEIKI STP-H1000L Endpoint detector type: 853-001983-005; 405/520um Heated endpoint windows: Yes Anafaze type: Yes Gas box unit or orbital: Vertial MFC #1: CI2-200 sccm; Area FC-780C MFC #2: CF4-200 sccm; Area FC-770AC MFC #3: 02-10 sccm: Area FC-780C MFC #4: He-200 sccm: Area FC-770AC MFC #5: HBr-200 sccm: Area FC-780C MFC #6: SF6-200 sccm: Area FC-770AC MFC #7: 02-200 sccm: Area FC-770AC MFC #8: S02-100 sccm: Area FC-780C MFC #10: No MFC #11: No MFC #12: No WVDS: No Autofill WVDS: No Backside He regulator: No Chamber manometer: Millipore CMH4-MllS19E; 0.1torr Trubo manameter: 853-031540-001: MKS 625A11TDE; 10torr Pumping line manameter: MKS 625AllTDE;10torr Heartbeat PCB: 810-017012-002 Turbo / Controller: Yes Turbo heaters: Yes Bulkhead or ballroom components: Yes Covers: Yes Indexers: Yes ELL: Yes Chamber: Yes VAT Assy and controller: Yes XLL: Yes Gas box: Yes AC / DC box: Yes Control enclosure: Yes Upper match enclosure: Yes Lower match enclosure: Yes Calibration tool: Yes Chamber parts: Yes (1) set User manual: Yes Pressure control: Yes Cables arid harnessing: Chiller signal interface cable: Yes Chiller EMO cable: Yes Chiller power cable: Yes Generator signal interface cable: Yes Generator EMO cable: Yes Generator power cable: Yes Remote AC box EMO cable: Yes Etcher power cable: Yes 1996 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un équipement avancé de gravure et de cueillette conçu pour produire des résultats uniformes et reproductibles en utilisant des technologies de pointe. Ce système est particulièrement bien adapté aux procédés de gravure et d'ashing impliquant la réalisation de films minces, tels que des dispositifs semi-conducteurs. ONTRAK TCP 9400 SE utilise un générateur de radiofréquences (RF) pour fournir la puissance nécessaire aux opérations de gravure et de cueillette. Ce générateur RF est commandé par un ordinateur, permettant un contrôle précis des niveaux de puissance et de vitesse de l'opération de gravure. De plus, LAM RESEARCH TCP 9400 SE est équipé de capteurs de rétroaction avancés qui peuvent surveiller la vitesse de gravure et l'uniformité en temps réel, permettant un contrôle précis du processus de gravure. L'unité de gravure et de cueillette comprend également une chambre à vide, qui facilite le processus en fournissant un environnement contrôlé exempt de contaminants et d'autres particules en suspension dans l'air qui pourraient compromettre le processus. La chambre contribue également à maintenir des conditions de traitement constantes et à éliminer la contamination du substrat. TCP 9400 SE dispose de plusieurs fonctions de sécurité intégrées qui offrent une couche supplémentaire de protection pour les utilisateurs, comme un interrupteur d'arrêt d'urgence qui peut être activé si le processus ne se comporte pas comme prévu. Il est également équipé d'une machine de contrôle de la température et de l'humidité pour assurer des températures et des niveaux d'humidité constants qui sont nécessaires pour des opérations de gravure et de cueillette réussies. L'outil comprend également un moyen de refroidissement robuste qui permet d'assurer que l'opération de gravure et de cueillette est effectuée sans surchauffe du substrat. Ce modèle de refroidissement est équipé de capteurs de température multiples qui permettent au contrôleur de maintenir une température constante pour le processus. Enfin, LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est équipé d'un aspect avancé d'alimentation RF qui permet des mesures précises de tension de trace et de section, permettant un contrôle plus précis du processus de gravure. En tout, ONTRAK TCP 9400 SE fournit toutes les caractéristiques essentielles nécessaires à la réussite des processus de gravure et d'ashing. Avec son générateur RF avancé, sa chambre à vide, ses caractéristiques de sécurité, son équipement de refroidissement et son aspect d'alimentation RF, cette machine est un outil puissant et fiable pour produire des résultats uniformes et reproductibles dans les processus de gravure et de cueillette.
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