Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134003 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un graveur semi-automatique et asher. Il s'agit d'un équipement monobloc conçu pour un large éventail de processus de gravure, de cendrage et de dépôt. Il dispose de deux chambres à gaz, chacune avec un débit indépendant et un contrôle de la température. Il dispose également d'un système de centrage automatique du substrat pour un positionnement précis des plaquettes et la capacité d'effectuer des processus à la fois humides et secs en une seule fois. L'unité est équipée avec un PC de haute performance la machine de contrôle basée et les interfaces de logiciel de style de Windows™ faciles à l'utilisation. Les recettes de processus programmables fournissent des capacités de configuration de processus, le stockage de données pour jusqu'à 20 processus définis par l'utilisateur, ainsi que le contrôle de processus flexible avec une grande sélection de paramètres. L'outil comprend également un tableau de bande de moniteur qui permet à l'utilisateur de visualiser rapidement les données de processus et d'identifier les problèmes. ONTRAK TCP 9400 SE peut traiter un large éventail de substrats, notamment des plaquettes de silicium, des masques de photolithographie, du quartz et de la céramique. Les chambres en plaquettes peuvent accueillir jusqu'à 400 mm, 200 mm et 150 mm de substrats ronds. L'actif offre également une grande variété de réactions de gravure et d'ashing pour l'aluminium, le silicium polycristallin, le titane, le silicium et d'autres matériaux. Le modèle comprend un équipement de sécurité intégré pour une protection maximale. Il comprend également un sous-système de détection du point d'extrémité (EDS) qui aide l'opérateur à surveiller les dommages causés au substrat, ainsi qu'un sous-système de refroidissement rapide (FCS) qui aide à prévenir les dommages thermiques pendant le processus de gravure. Le système offre d'excellentes performances pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. Son contrôleur haute performance et son logiciel rendent le traitement automatisé rapide et facile. L'unité offre également des caractéristiques de sécurité et de protection exceptionnelles pour l'opérateur et les substrats. Toutes ces caractéristiques font de LAM RESEARCH TCP 9400 SE un excellent choix pour les ingénieurs de process.