Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9203958 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un graveur monoplace entièrement automatisé pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. L'unité est conçue pour fournir un excellent contrôle de traitement, des rendements de production élevés, et une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. Ce graveur-asher est constitué d'une chambre principale et d'une source de plasma chauffée et contrôlée sous pression, ainsi que d'un biais de substrat indépendant, d'un contrôle de température et de pression. Le graveur-asher est également équipé d'un microscope optique à particules de précision qui est utilisé pour surveiller la surface du substrat lors du traitement. La capacité de la chambre est de 200 mm (8 po) de plaquettes ou 90 mm (3,5 po) de plaquettes pleines. ONTRAK TCP 9400 SE dispose d'un module de processus polyvalent et multifonctionnel qui offre une excellente flexibilité, fiabilité, répétabilité et précision. Le système de contrôle sophistiqué permet de graver et d'aspirer avec précision les métaux non actifs et les matériaux semi-conducteurs réactifs dans un seul outil. L'unité est capable de graver et d'aspirer une large gamme de surfaces, des dispositifs semi-conducteurs extrêmement fins aux structures épaisses. En outre, l'unité est conçue pour la gravure/cueillette de plasma sous vide élevé et la gravure/cueillette de plasma à basse pression. Le graveur/asher est conçu avec un contrôle précis du processus et une excellente stabilité, de sorte que le processus peut être entièrement optimisé. Le manipulateur précis permet un balayage précis de la plaquette lors de la gravure ou de la cueillette, et un contrôle précis des taux de gravure réels. L'graveur-asher est également capable de former des tranchées de façon répétée et précise dans des substrats semi-conducteurs. LAM RESEARCH TCP 9400 SE offre une excellente protection contre les dommages causés aux plaquettes en raison de sa capacité de nettoyage in situ et de processus multiples à grande vitesse. Le manipulateur précis assure également un traitement uniforme des structures critiques et un contact thermique précis à travers la chambre. De plus, l'efficacité élevée du diagnostic de diffraction laser intégré permet un contrôle et une analyse précis des processus, tout en éliminant la contamination par les particules de poussière. Dans l'ensemble, TCP 9400 SE est un graveur/asher haute performance qui fournit une gravure et un ashing précis et fiables pour une large gamme de structures de plaquettes semi-conductrices. L'unité est conçue pour un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette, ainsi que des performances répétables et un excellent rendement. En outre, il est également conçu pour le traitement du plasma sous vide et à basse pression, ce qui en fait une solution idéale pour les applications semi-conductrices.