Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304 à vendre en France

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ID: 9223304
Etcher Electro Static Chuck (ESC) Envision CPU card installed All available transport improvement upgrades are installed Missing: (2) ADIO cards Indexer Exit load lock cover.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un graveur/asher capable d'effectuer des opérations critiques de gravure et d'ashing pour une gamme de matériaux dans une grande variété d'industries. Sa conception unique, conçue pour le rapport coût-efficacité et l'évolutivité, lui permet d'être utilisé pour un certain nombre d'applications différentes. Cette machine dispose d'un équipement de transport de plaquettes à grande vitesse et la capacité de cycle rapide entre les opérations haute pression, basse pression, gravure, et ashing tout en maintenant la répétabilité du processus. Avec une utilisation consommable réduite et des capacités de débit élevées, ONTRAK TCP 9400 SE offre un maximum de performance et de contrôle des processus. Le cœur de LAM RESEARCH TCP 9400 SE est la conception de chambre à plasma en céramique fermée. Cette fonctionnalité a été conçue pour un transfert de chaleur optimal et une utilisation sûre et efficace du gaz de procédé. La chambre céramique conserve une grande homogénéité de température pour assurer une gravure rapide et répétable. Pour optimiser encore les performances de gravure, cette machine dispose d'une surveillance intégrée de la pression du procédé, qui permet un réglage fin et assure la cohérence. Pour assurer la répétabilité et la précision, TCP 9400 SE intègre un système breveté de contrôle de la rétroaction (SCA). Le FCS fonctionne en surveillant le profil de tension du filament sur la plaquette et ajuste automatiquement la pression et le temps du processus en fonction des conditions prédéterminées. Cela permet à l'unité de reprendre le contrôle du processus si les propriétés d'une plaquette changent pendant le processus de gravure. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE possède également une machine d'enregistrement de processus numérique. Cet outil mémorise tous les paramètres de processus au cours de chaque cycle de gravure permettant de recréer les paramètres de processus exacts pour chaque plaquette traitée. En outre, les variables de processus stockées dans la base de données permettent de contrôler les processus statistiques et de les améliorer si nécessaire. Le logiciel de recette de processus permet à la machine de stocker plusieurs recettes pour différents types de plaquettes et de les exécuter automatiquement. Il peut également stocker des données moyennes par lots et traiter des informations connexes. Il est ainsi facile d'enregistrer, de revoir et d'exporter des journaux de gravure à des fins de contrôle de la qualité et d'assurance de la qualité. Enfin, ONTRAK TCP 9400 SE est conçu pour faciliter l'utilisation et l'entretien. Il dispose d'un grand écran avant avec des commandes d'opérateur faciles à utiliser pour permettre un fonctionnement rapide et simple. Pour la maintenance, tous les composants critiques sont facilement accessibles depuis l'extérieur de la machine. LAM RESEARCH TCP 9400 SE est une machine polyvalente, fiable et fiable qui est parfaite pour ceux qui veulent augmenter leur productivité et leur efficacité dans leurs processus de gravure et de cueillette.
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