Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9412757 à vendre en France
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LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est un équipement avancé de gravure/cueillette conçu avec les applications les plus exigeantes à l'esprit. ONTRAK TCP 9400 SE est une source de plasma pulsé basée sur un procédé breveté en boucle fermée à trois chambres. Son système d'automatisation embarqué révolutionnaire, combiné à un logiciel de contrôle des processus, permet des outils de processus très fiables. Cette unité de gravure/cueillette a une large fenêtre de fonctionnement d'un 10 milliwatts jusqu'à 500 milliwatts. Il supporte divers gaz, dont le chlore, le fluor et le dioxyde de carbone. La vitesse de gravure ajustable, combinée à l'asymétrie des impulsions variables, la rend idéale pour une large gamme de processus de gravure/cendres. Cette machine utilise également une chambre de zone de convergence brevetée qui aide à éliminer les problèmes associés aux systèmes de gravure classiques tels que les dommages aux bords, l'érosion du masque et la dérive de l'arc. LAM RESEARCH TCP 9400 SE est conçu pour un débit et une productivité élevés. L'architecture ouverte permet l'optimisation des matériaux, des processus et des caractéristiques. L'outil supporte également plusieurs recettes et offre une excellente répétabilité. Il dispose d'une interface utilisateur industrielle intuitive avec un écran tactile LCD et un éditeur graphique. L'outil intelligent d'ajustement de processus en temps réel permet d'optimiser les recettes en quelques minutes. Il comprend également un outil de diagnostic automatisé au niveau de la plaquette pour détecter tout problème de modèle avant qu'il ne devienne un problème. TCP 9400 SE dispose de plusieurs dispositifs de sécurité avancés tels que des panneaux solaires et des lasers qui détectent les fuites dans la chambre. Il est également compatible avec l'EFEM, ce qui lui permet d'être intégré dans des systèmes automatisés. L'équipement a une faible empreinte, ce qui le rend facile à installer et à entretenir. LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE est une solution puissante pour développer une gamme complète de technologies de pointe impliquant des processus de gravure/cendres. Il est idéal pour des applications telles que la fixation de haute précision, les ouvertures de contact, l'isolation de l'appareil et la réparation du masque. Ce système est idéal pour les clients qui ont besoin de l'unité de gravure/cueillette la plus avancée disponible, avec une répétabilité et un contrôle de processus supérieurs.
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