Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169565 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est un graveur/asher à plasma avancé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement fournit un processus de gravure très précis et contrôlable pour la fixation de haute précision des plaquettes de silicium et d'autres matériaux avancés. Il convient à la gravure du métal, du silicium polycristallin, du dioxyde de silicium, du quartz, du nitrure et des matériaux diélectriques. Ce système est équipé de caractéristiques avancées telles que des densités de plasma et de gaz de gravure indépendantes, et un mécanisme de distribution de gaz haut de gamme. Son logiciel de contrôle de traitement intégré prend en charge les recettes de précision et la détection optique in situ. La série Rainbow 4000 est équipée d'une source de plasma à couplage inductif (ICP) multi-sources et de forte puissance qui crée un plasma uniforme dans la chambre de procédé. Il est capable de produire du plasma haute densité avec un contrôle précis de la densité et de la puissance. Le générateur de plasma peut fournir jusqu'à 25kW de puissance avec des cycles de mise en marche et d'arrêt rapides, permettant une vitesse de gravure élevée. Le plasma haute densité est également adapté aux procédés nécessitant des espèces très peu oxygénées. Le Rainbow 4000 utilise également une unité de livraison de gaz hautement contrôlable. Cette machine est capable de délivrer jusqu'à cinq gaz différents simultanément. Selon le processus de gravure, les gaz peuvent comprendre trois espèces de graveurs, un gaz de passivation pour minimiser la variabilité de la profondeur de gravure, et un gaz de purge pour éliminer les sous-produits. Les commandes d'écoulement souples ouvertes et fermées assurent une pression constante de la chambre de gravure et une uniformité de gravure uniforme. L'outil est également équipé de contrôleurs avancés pour des résultats précis et reproductibles. Les systèmes Rainbow 4000 permettent de détecter in situ le point final pour surveiller la fin du processus de gravure. L'actif utilise également une fonctionnalité « SoftLanding » pour améliorer l'uniformité des gravures en ajustant automatiquement le point de fin du processus de gravure. Son modèle intégré d'optimisation et de gestion des recettes contribue à maintenir un processus stable et reproductible. En plus de ses caractéristiques avancées, LAM RESEARCH Rainbow Série 4000 etcher/asher offre une gestion thermique améliorée avec un chauffe-gaz HEDP breveté haute efficacité. Ce matériel est également soutenu par le réseau mondial de services LAM RESEARCH, qui fournit un soutien technique et des services d'installation dans le monde entier. Rainbow Série 4000 est une excellente solution pour les procédés avancés de gravure et d'asher.