Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568 à vendre en France

ID: 9169568
Plasma etcher Parts machine.
LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour répondre aux besoins des applications de traitement des plaquettes les plus complexes. Ce système dispose d'une plate-forme modulaire conçue pour s'adapter à toute application tout en offrant des performances cohérentes. L'architecture unique de l'unité permet d'ajouter facilement jusqu'à trois modules supplémentaires pour plus d'extensibilité et de polyvalence. La série Rainbow 4000 est équipée d'un Crystal Front Target Assembly (CFTA) qui offre des capacités de gravure et de cendrage thermiquement couplées avec un contrôle précis de la température et de la pression. En outre, cette machine est conçue pour des séries de production de volume moyen à élevé fiables, avec un contrôle de mouvement avancé assurant l'uniformité et la répétabilité sur toute la surface de la plaquette. Équipé de deux générateurs RF de 1,75 kW, LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est capable d'effectuer jusqu'à 6 cycles de plaquettes par minute pour la gravure, augmentant ainsi le débit. En outre, l'outil utilise un logiciel embarqué sensible au contexte qui s'adapte aux paramètres du processus et aux caractéristiques de la plaquette, assurant une bonne intégration des modules et un fonctionnement simplifié. La série Rainbow 4000 permet de contrôler avec précision des paramètres tels que la température, la pression, la puissance RF, le temps asher et le temps de gravure. Le contrôle automatisé des paramètres rend cet atout idéal pour assurer une uniformité uniforme des plaquettes sur toute la surface du substrat. Pour faciliter la manipulation et le transport des plaquettes, LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est conçu avec un modèle de transport intégré des plaquettes. Cet équipement comprend une chambre de focalisation, un gestionnaire de plaquettes et une chambre de réception qui se combinent pour former un système de manutention de plaquettes flexible. Ce mécanisme peut supporter une large gamme de tailles et de formes de plaquettes, ainsi que des plaquettes simples et double face. Avec un Fin Effecteur Robotique optimisé, l'unité assure une manipulation fiable et un positionnement précis des plaquettes. Pour les opérations en salle blanche, la série Rainbow 4000 est construite sur un châssis compact et résistant aux vibrations. La plate-forme est conçue pour un fonctionnement facile grâce à des fonctions telles que la reconnaissance des détails, l'interface intuitive avec écran tactile, le réseautage fiable et la maintenance de la machine. Pour assurer la sécurité pendant les opérations, l'outil est équipé d'un ensemble de dispositifs de sécurité qui comprennent la surchauffe, la surpression et la protection contre les interférences électromagnétiques. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est l'outil idéal pour les applications de gravure et d'ashing, permettant un haut niveau de précision, de répétabilité et de fiabilité. Avec la capacité multitâche et la conception modulaire, cet atout est l'un des systèmes de graveur/asher les plus avancés du marché.
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