Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169569 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est un graveur/asher qui offre une combinaison de gravure plasma de précision et de techniques de gravure et de cendrage chimiques propres. Cet équipement offre une variété de caractéristiques qui le rendent idéal pour plusieurs industries, y compris les semi-conducteurs, l'automobile, les télécommunications, l'électronique grand public, l'optique et la fabrication de dispositifs médicaux. Rainbow Série 4000 'se compose de deux chambres de gravure distinctes, une pour la gravure chimique et une pour la gravure par plasma, qui sont reliées par le même circuit de procédé. Ce système dispose également de la technologie HFIC (High-Frequency Impedance Control) de LAM, qui permet un contrôle précis de la vitesse de gravure, des modifications de tranche par tranche et de la capacité de traitement sur une large gamme de substrats. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est conçu pour fournir des rendements de production et de débit élevés en gravure chimique et plasmatique. Les paramètres de processus programmables avancés et contrôlés par ordinateur permettent un réglage fin et une reproductibilité sur plusieurs lots de gravure. Sa technologie avancée de réglage automatique Flexi-Etch améliore encore le contrôle des processus, ce qui permet d'optimiser la vitesse de gravure et l'uniformité sur une large gamme de substrats. Pour la gravure chimique, la série Rainbow 4000 comprend une machine de transfert de bras Swing qui permet un chargement facile des pièces et une chambre de gravure chimique avec la technologie RF Bal ECR de LAM, qui permet un contrôle précis de la puissance, de la pression, de la chimie des procédés, du refroidissement et de l'uniformité de température du processus de gravure du plasma. En outre, l'outil est conçu avec PFPE (Perfluoropolyether-based) Chemical gravch chemistry, une option écologique qui élimine le besoin de produits chimiques dangereux. LAM RESEARCH La chambre de gravure à plasma de la série Rainbow 4000 offre une grande uniformité de gravure et une uniformité entre plaquettes. Cet atout est doté d'un modèle de contrôle de bord avancé et d'un équipement de distribution de puissance RF sans bobine pour assurer l'uniformité et la température. La chambre de gravure plasma comprend également un système de refroidissement en cascade intégré qui permet d'assurer des vitesses de gravure répétables et des rendements plus élevés. Pour améliorer la sécurité et le contrôle, la série Rainbow 4000 comprend une unité d'accès avancée protégée par mot de passe. Il comprend également un centre intégré de surveillance des processus, un moniteur ESD (ElectroStatic Discharge), et une interface utilisateur multi-terminal puissante. La machine est entièrement intégrée aux dernières mises à jour logicielles et sa conception fermée réduit les niveaux de bruit. LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series est un outil puissant de graveur/asher intégré avec des fonctionnalités avancées conçues pour des performances et des rendements de production optimaux. Ses deux chambres de gravure, le contrôle précis des paramètres du procédé et les capacités de surveillance du procédé en font la solution parfaite pour les industries qui nécessitent des procédés de gravure chimique et plasmatique.