Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293595657 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4400
ID: 293595657
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4400 est un graveur/asher avancé conçu avec des capacités de processus supérieures pour une large gamme de matériaux ; du verre, à GaAs. Il dispose d'une baie d'accès de charge/déchargement facilement accessible et d'une chambre à vide isolée pour le fonctionnement à basse température. La chambre supporte deux panneaux de source multifonctions intégrés, configurables séparément et à haute puissance, et trois panneaux de source réactifs, permettant l'élaboration à basse température d'une large gamme de matériaux ; du film épais aux plaquettes de silicium. Le système intégré de distribution de gaz de l'équipement et la gamme de fonctions avancées de contrôle des processus permettent un contrôle précis de tous les paramètres du processus de gravure et d'ashing. Rainbow 4400 utilise un serveur de base de données puissant pour gérer toutes les recettes de processus, assurant ainsi le plus haut niveau de répétabilité et de reproductibilité, ainsi que la prévention des erreurs et des avertissements. Le serveur de base de données contient également un certain nombre d'étapes de recette prédéfinies, limitant ainsi le besoin de configuration utilisateur et d'établissement manuel de paramètres de processus sensibles. RECHERCHE LAM Rainbow 4400 utilise un certain nombre de générateurs RF avancés, dont un générateur bipolaire RF, un générateur RF de 850 MHz, un générateur RF de 13,56 MHz et un générateur RF de 6,78 MHz. Ces générateurs sont capables de délivrer des fréquences de l'ordre de 20 MHz à 1 GHz, ainsi que de fournir des techniques de modulation d'impulsions, de contrôle de phase et de biphase, afin d'optimiser les performances du processus. L'unité dispose également de capacités de contrôle avancées, permettant un contrôle précis du processus, permettant le contrôle des gaz de processus, des températures du substrat et des niveaux de puissance RF. Rainbow 4400 est conçu pour s'adapter rapidement aux exigences changeantes des processus, en offrant différents niveaux d'automatisation. Un module automatisé de chargement et de déchargement des substrats, ainsi qu'une machine automatisée de détection des points d'extrémité, aident à réduire au minimum la quantité d'intervention manuelle requise ; assurer une production efficace et répétable. Une conception ergonomique garantit la sécurité et le confort de l'utilisateur et facilite l'accès à la maintenance. LAM RESEARCH offre une gamme complète de services et d'options de soutien pour LAM RESEARCH Rainbow 4400, y compris un soutien technique en ligne, des manuels complets et de la documentation produit, ainsi que la formation des opérateurs et des programmes de maintenance continue. Fonctionnant en salle blanche et dans des environnements de fabrication, Rainbow 4400 offre un niveau supérieur de contrôle des processus et de fiabilité, ce qui en fait le choix idéal pour une gamme d'applications de production, de recherche et de développement.
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