Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9226087 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4400 est un graveur/asher haute performance conçu pour des applications avancées de fabrication et d'emballage IC. Rainbow 4400 offre une grande variété de capacités de processus, avec la capacité de graver et asher les matériaux, y compris le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, les polyimides, les polysilicates, les polyamines, et plus encore. Il combine une plate-forme haute température à haut débit avec un faisceau d'ions gallium à bas kV pour une gravure anisotrope précise. LAM RESEARCH Rainbow 4400 est composé d'un loadlock, d'une chambre de traitement, d'une station de chargement et d'un ordinateur central. Le loadlock permet le chargement et le déchargement de substrats dans la chambre de procédé sans avoir à dépressuriser la chambre. La chambre de procédé est évacuée par une pompe turbo-moléculaire, permettant un débit plus élevé et des temps de cycle plus rapides. Le poste de charge retient les substrats et comporte un ensemble d'élévateurs servant à régler la hauteur du substrat pendant la gravure. L'ordinateur central abrite les alimentations électriques, les générateurs de radiofréquences (RF) et l'équipement sous vide utilisé pour créer et entretenir l'environnement du processus. Rainbow 4400 est un système polyvalent qui peut être configuré pour effectuer la gravure, l'ashing, ou les deux dans une large gamme de recettes de processus. Il peut également être utilisé pour effectuer une gravure à haut rapport d'aspect et un profilage de profondeur de substrats. L'appareil peut accueillir jusqu'à 8 pouces de substrats de diamètre et peut être utilisé pour les applications de gravure 2D et 3D. Il peut également atteindre des températures allant jusqu'à 800 ° C et peut être utilisé pour la gravure de couches métalliques. LAM RESEARCH Rainbow 4400 est équipé d'une interface utilisateur avancée qui permet une configuration facile et l'optimisation des paramètres de recette. Il dispose également d'un affichage en temps réel de tous les paramètres de la machine, y compris les niveaux de vide et les vitesses de pompe. Ses capacités de diagnostic et de maintenance à distance permettent le service à distance et le soutien de l'équipe du service client de LAM RESEARCH. En plus de ses capacités de gravure avancées, Rainbow 4400 offre également un outil de contrôle optique intégré. Cet atout permet d'optimiser le processus de gravure en permettant aux utilisateurs de surveiller le profil de gravure en temps réel. Cela garantit que les paramètres de gravure sont correctement ajustés pour obtenir un résultat idéal. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4400 est un modèle de graveur/asher puissant avec une large gamme de capacités qui le rend idéal pour les applications avancées de fabrication et d'emballage IC. Sa plate-forme à haut débit et haute température permet une gravure anisotrope précise, tandis que son équipement de contrôle optique de pointe contribue à optimiser le processus de gravure. En outre, sa configuration facile, l'affichage en temps réel des paramètres du système, le diagnostic à distance et les solutions de maintenance, permettent et maintiennent un résultat de processus fiable.