Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4400 etcher/asher est un graveur/asher à plaques parallèles monobloc conçu pour traiter divers substrats, dont le silicium, le SiGe et d'autres matériaux. Rainbow 4400 offre une livraison précise de plasma et de gaz réactifs à la plaquette avec un contrôle étroit des concentrations et des flux des sources de plasma et de gaz. L'équipement de procédé permet une gravure économique et avancée des structures, y compris les MOSFET, MEMS et IC. LAM RESEARCH Rainbow 4400 est équipé de deux puits de 8 pouces pour deux sources de plasma distinctes et de quatre ports pour le contrôle indépendant des gaz réactifs. Il dispose d'une source d'énergie jusqu'à 5 kW, configurable pour accueillir diverses chimies plasmatiques. RF et DC sont disponibles, avec une fréquence maximale de 13,56 MHz. Rainbow 4400 peut être offert avec un niveau de vide de 5x10-5 Torr. RECHERCHE LAM Rainbow 4400 offre un contrôle de précision sur le plasma, permettant des résultats de gravure/cueillette cohérents. Il peut être entièrement automatisé ou actionné manuellement, permettant une flexibilité adaptée aux besoins des clients. De plus, Rainbow 4400 est conçu avec un composant breveté de manutention de plaquettes Aerosol QuartzMD, à faible débit de particules, pour assurer un traitement reproductible. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4400 est un graveur/asher fiable pour une variété de traitement de matériaux. Les résultats sont cohérents et reproductibles, et le point de prix est concurrentiel. Son contrôle avancé des paramètres de gravure permet d'améliorer le traitement des MOSFET, MEMS et IC. De plus, le composant de manutention des plaquettes Aerosol Quartz réduit le risque de contamination pour les systèmes complexes.