Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9169589 à vendre en France

ID: 9169589
Taille de la plaquette: 8"
Plasma etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4400B est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour les opérations de fabrication de semi-conducteurs arrière. Il s'agit d'un système à chambre unique qui combine des capacités de gravure par plasma à couplage inductif (PIC) et des capacités de cendrage par voie humide dans un seul module. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B est conçu pour les environnements de production et dispose d'une architecture automatisée à haut débit qui offre une fiabilité et une uniformité optimales. Il est conçu pour être très efficace, offrant des performances supérieures dans un large éventail d'applications de gravure et d'ashing. Rainbow 4400B est construit dans une configuration robuste et fiable, utilisant des composants éprouvés de l'industrie et une architecture innovante. La chambre de processus de l'unité est conçue pour une grande répétabilité et uniformité, et est capable de supporter une large gamme de tailles de plaquettes, de 2 à 8 pouces et au-delà. La chambre est capable de déposer des couches uniformes de gravure ICP et de cendrage chimique humide sur une seule plaquette en quelques secondes. De plus, la chambre est configurée avec un générateur de polarisation par radiofréquence (RF), permettant un contrôle précis et un traitement à haut débit. RAINBOW 4400 B est également équipé d'une gamme de capacités de contrôle avancées. Les fonctions programmables permettent aux utilisateurs de personnaliser et d'optimiser facilement les recettes de processus. Le contrôle automatisé des processus permet à la machine de maintenir l'uniformité sur un lot de plaquettes sans intervention manuelle. Les logiciels d'architecture ouverte permettent une compatibilité complète avec les conceptions de plaquettes existantes et nouvelles. L'outil comprend également une interface utilisateur puissante et une interface utilisateur graphique intuitive (UI) pour un débogage facile, la configuration et la surveillance des processus. RECHERCHE LAM Rainbow 4400B présente également un faible impact environnemental, avec une large gamme de capacités conçues pour minimiser les émissions dangereuses et réduire les déchets. Cet actif est conçu avec un modèle de contrôle thermique avancé, assurant une température de processus uniforme et stable. L'équipement augmente également le rendement en incorporant la technologie CLTPE (Closed-Loop Terahertz Pulse Etch), capable de produire des résultats de gravure et de recuit uniformes. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B est un système de graveur/asher avancé qui combine une conception avancée, fiable et efficace avec un faible impact environnemental. Sa chambre de processus unifiée, son contrôle automatisé des processus et sa technologie CLTPE en font un choix idéal pour les opérations de fabrication de semi-conducteurs arrière.
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