Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9176765 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4400B
ID: 9176765
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4400B est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour fournir aux fabricants de semi-conducteurs des performances de processus améliorées, uniformité et flexibilité. Le système dispose d'une plate-forme multi-axes haute performance, ainsi que d'une variété de modules et de composants configurables pour assurer des solutions de gravure et d'ashing optimisées pour le traitement physico-chimique, la fabrication d'appareils, l'électro-optoélectronique et les applications MEMS. LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B dispose de plusieurs options de contrôle de gaz, permettant un contrôle de processus en temps réel et de haute précision. Ses régulateurs de débit de masse intelligents (MFC) sont en mesure de réguler et de contrôler la pression, le débit et d'autres paramètres d'un maximum de huit gaz différents en temps réel et sans affecter l'alimentation électrique. Cela garantit une flexibilité maximale du processus, la reproductibilité et des résultats globaux de haute performance. L'unité est contrôlée par une interface homme-machine à écran tactile (HMI) avec des outils de diagnostic et d'analyse de données avancés. Il dispose également d'une large gamme de recettes de procédé personnalisables, permettant à la machine de gravure et de cueillette d'être facilement adaptée à une variété de configurations de semi-conducteurs. Les pilotes logiciels sophistiqués programmables effectuent des calculs et des corrections pour garantir des résultats de gravure optimisés dans des délais de traitement plus courts et des rendements plus élevés. Rainbow 4400B offre des systèmes automatisés de manutention et de transport des plaquettes très précis, un moniteur de processus embarqué et des capacités de diagnostic de défaut avancées. Son outil d'auto-étalonnage et ses multiples fonctions de sécurité garantissent un contrôle optimal du processus, la stabilité et la sécurité. L'actif est capable de traiter jusqu'à 100 plaquettes en une seule fois et offre une fonction auto-propre en option pour garantir des résultats de fabrication d'appareils sans défaut. RAINBOW 4400 B offre une variété de composants complémentaires pour adapter la chambre de gravure et de cendrage à une application, un procédé ou une exigence spécifique. Il dispose également d'un modèle de détection d'endpoint de haute précision, capable de contrôler et de surveiller le processus de gravure et d'ashing avec précision et répétabilité. La conception et la construction avancées de l'équipement offrent une excellente polyvalence et performance de gravure et d'ashing, tout en garantissant des résultats précis et cohérents.
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