Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595656 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 293595656
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher plasma haut de gamme spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour la gravure et le nettoyage de divers substrats dont le silicium, le quartz et les métaux. Rainbow 4420 dispose de deux jets de gaz azotés, un pour la gravure et un pour le cendrage, ainsi que des régulateurs RF et DC réglables qui permettent aux techniciens de contrôler avec précision la quantité de gravure ou de cendres nécessaire à une application particulière. LAM RESEARCH Rainbow 4420 dispose également d'un équipement sophistiqué d'injection de gaz qui permet l'injection de gaz réactifs spéciaux pour améliorer les uniformités de gravure. L'arc-en-ciel 4420 a un fonctionnement indépendant à double chambre qui permet un traitement simultané ou séparé dans chaque chambre. Cela améliore encore l'uniformité et la productivité des processus. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 offre également un grand volume de chambre qui fournit une gravure plasma uniforme ou des cendres dans toute la chambre. De plus, la fonction de préchauffage permet de préchauffer le système avant le traitement en assurant des conditions de traitement uniformes dans toute l'unité. L'arc-en-ciel 4420 est capable d'effectuer des processus isotropes et anisotropes. La gravure isotrope comporte une gravure directionnelle à partir des côtés supérieur et inférieur du substrat. Ceci améliore les profils d'angle de flanc de gravure et fournit une gravure de rapport d'aspect élevé sans impact sur le contrôle de dimension critique (CD). Les procédés anisotropes comportent une gravure directionnelle d'un côté du substrat qui produit des profils de paroi coudée fortement inclinés ainsi qu'un contrôle CD amélioré. LAM RESEARCH Rainbow 4420 dispose également d'un certain nombre de fonctions de contrôle et de surveillance avancées. Les techniciens sont en mesure de surveiller et d'ajuster le processus de gravure ou de cendres en temps réel. Il existe une fonction supplémentaire de collecte de données qui permet aux utilisateurs de stocker et de revoir les paramètres du processus sur une période de temps. Ces données peuvent ensuite être utilisées pour optimiser le processus et réduire la variabilité. En bref, Rainbow 4420 est une machine de graveur/asher plasma sophistiquée et très précise qui peut être utilisée pour graver une variété de matériaux dont le silicium, le quartz et les métaux. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 est équipé d'un certain nombre de caractéristiques de pointe pour assurer le bon déroulement et l'efficacité de chaque processus. Il offre également des fonctions de contrôle et de surveillance avancées pour assurer la précision et la cohérence de chaque lot.
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