Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 293609830
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6" (8) MFC Cassette type: Open cassette, 6"(Standard) LCD Remotte monitor Chamber: Part number / Description 718-092326-061 / ESC 716-028249-064 / Focus ring 716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic 715-011531-015 / Upper electrode 716-011570-001 / Orifice filler, ceramic 715-011753-001 / Upper baffle 715-011913-080 / Lower baffle 716-011009-001 / View window 715-011535-001 / Cathode clamp ring 715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type 715-028532-002 / Ring colling electrostaic 853-540066-005 / Endpoint dection 853-025054-002 / ESC power supply 796-092338-005 / MKS Chamber manometer 797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm 853-031764-002 / Lift pin cylinder 796-006238-001 / Throttle valve controller 853-013541-002 / Assy throttle valve RF Generator: ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003 Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002 PCB / DIP, part number: 810-017003-004 RF Power cord, 60 feet RF Cable, 65 feet TCU Signal cable,60 feet TCU Channel to interconnect, 60 feet Transfer: GAP calibration tool Transfer calibration tool Part number / Description 853-012123-001 / Robot (ELL and XLL) 853-012601-001 / Load index assy 853-012600-102 / Unload index assy 853-012200-002 / Inner door 853-012200-002 / Outer door 605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive 853-029462-001 / XLL Wafer sensor VME PCB: Part number / Description 810-017034-005 / Assy PCB VME 68030 810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO 810-017038-002 / SIO PCB 810-017388-003 / Ethernet address PCB Gases: CL2 500 SCCM SF6 200 SCCM C2F6 200 SCCM HE 500 SCCM HBR 100 SCCM HE 50 SCCM CHF3 20 SCCM O2 10 SCCM Power supply: Part number / Description 660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V 660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V Manuals included.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher utilisé principalement pour la fabrication de semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs. Rainbow 4420 est un équipement de graveur/asher à sec entièrement automatisé et performant. Il est capable de fournir une qualité de gravure et de cendrage supérieure avec un débit élevé, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs avancés. LAM RESEARCH Le système Rainbow 4420 offre une gravure et une cendre ultra-rapides pour fournir des résultats supérieurs. L'unité a une conception modulaire et utilise une machine de distribution complète de gaz, permettant une variété de configurations de processus. Il dispose d'une puissance RF avancée pour une gravure précise et cohérente, même pour les substrats les plus difficiles. Rainbow 4420 offre également une capacité de gravure améliorée avec ses outils avancés de contrôle des processus, qui fournissent des paramètres précis et reproductibles. Pour assurer un maximum de fiabilité et de performance, l'outil Rainbow 4420 de LAM RESEARCH utilise différentes couches de systèmes de contrôle matériel et logiciel. Il s'agit notamment d'un logiciel de contrôle sophistiqué, d'un actif d'acquisition de données à grande vitesse et d'un modèle de processus avancé. L'équipement de contrôle fournit un contrôle précis sur les taux de gravure, les recettes, les recettes, les paramètres, et même le calendrier des processus. Le système d'acquisition de données assure alors un suivi en temps réel de la vitesse de gravure et de la variation des processus. En outre, l'unité Rainbow 4420 offre une gamme de contrôles de processus avancés et d'outils d'optimisation, tels que le séquençage de gravure multi-étapes et la synchronisation cross-wafer. Il est également capable de supporter un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le SiO₂ et les composés III-V, ainsi qu'une variété de couches et de substrats différents. Cela le rend adapté à une large gamme de différents types d'appareils. Enfin, la machine Rainbow 4420 de LAM RESEARCH est conçue pour offrir un moyen simple et économique d'atteindre des performances de gravure et d'ashing au niveau de la production, dans une configuration unique et multi-stations. L'outil est entièrement configurable, permettant une intégration transparente dans les processus de production existants. Avec sa qualité de gravure supérieure et son débit élevé, il est le choix idéal pour la fabrication de dispositifs avancés.
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