Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293609830 à vendre en France
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ID: 293609830
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6"
(8) MFC
Cassette type: Open cassette, 6"(Standard)
LCD Remotte monitor
Chamber:
Part number / Description
718-092326-061 / ESC
716-028249-064 / Focus ring
716-011540-001 / Face-upper ring electrode, ceramic
715-011531-015 / Upper electrode
716-011570-001 / Orifice filler, ceramic
715-011753-001 / Upper baffle
715-011913-080 / Lower baffle
716-011009-001 / View window
715-011535-001 / Cathode clamp ring
715-011622-201 / Lifter wafer 4 pin new type
715-028532-002 / Ring colling electrostaic
853-540066-005 / Endpoint dection
853-025054-002 / ESC power supply
796-092338-005 / MKS Chamber manometer
797-008571-103 / Unit pressure control 8130 he 50 sccm
853-031764-002 / Lift pin cylinder
796-006238-001 / Throttle valve controller
853-013541-002 / Assy throttle valve
RF Generator:
ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator, part number: 660-024637-003
Assy RF Match gear driven, part number: 853-015130-002
PCB / DIP, part number: 810-017003-004
RF Power cord, 60 feet
RF Cable, 65 feet
TCU Signal cable,60 feet
TCU Channel to interconnect, 60 feet
Transfer:
GAP calibration tool
Transfer calibration tool
Part number / Description
853-012123-001 / Robot (ELL and XLL)
853-012601-001 / Load index assy
853-012600-102 / Unload index assy
853-012200-002 / Inner door
853-012200-002 / Outer door
605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive
853-029462-001 / XLL Wafer sensor
VME PCB:
Part number / Description
810-017034-005 / Assy PCB VME 68030
810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO
810-017038-002 / SIO PCB
810-017388-003 / Ethernet address PCB
Gases:
CL2 500 SCCM
SF6 200 SCCM
C2F6 200 SCCM
HE 500 SCCM
HBR 100 SCCM
HE 50 SCCM
CHF3 20 SCCM
O2 10 SCCM
Power supply:
Part number / Description
660-091820-001 / 660-091820-003 / DC Power supply: +24V
660-091821-001 / 660-091821-003 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V
Manuals included.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher utilisé principalement pour la fabrication de semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs. Rainbow 4420 est un équipement de graveur/asher à sec entièrement automatisé et performant. Il est capable de fournir une qualité de gravure et de cendrage supérieure avec un débit élevé, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs avancés. LAM RESEARCH Le système Rainbow 4420 offre une gravure et une cendre ultra-rapides pour fournir des résultats supérieurs. L'unité a une conception modulaire et utilise une machine de distribution complète de gaz, permettant une variété de configurations de processus. Il dispose d'une puissance RF avancée pour une gravure précise et cohérente, même pour les substrats les plus difficiles. Rainbow 4420 offre également une capacité de gravure améliorée avec ses outils avancés de contrôle des processus, qui fournissent des paramètres précis et reproductibles. Pour assurer un maximum de fiabilité et de performance, l'outil Rainbow 4420 de LAM RESEARCH utilise différentes couches de systèmes de contrôle matériel et logiciel. Il s'agit notamment d'un logiciel de contrôle sophistiqué, d'un actif d'acquisition de données à grande vitesse et d'un modèle de processus avancé. L'équipement de contrôle fournit un contrôle précis sur les taux de gravure, les recettes, les recettes, les paramètres, et même le calendrier des processus. Le système d'acquisition de données assure alors un suivi en temps réel de la vitesse de gravure et de la variation des processus. En outre, l'unité Rainbow 4420 offre une gamme de contrôles de processus avancés et d'outils d'optimisation, tels que le séquençage de gravure multi-étapes et la synchronisation cross-wafer. Il est également capable de supporter un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le SiO₂ et les composés III-V, ainsi qu'une variété de couches et de substrats différents. Cela le rend adapté à une large gamme de différents types d'appareils. Enfin, la machine Rainbow 4420 de LAM RESEARCH est conçue pour offrir un moyen simple et économique d'atteindre des performances de gravure et d'ashing au niveau de la production, dans une configuration unique et multi-stations. L'outil est entièrement configurable, permettant une intégration transparente dans les processus de production existants. Avec sa qualité de gravure supérieure et son débit élevé, il est le choix idéal pour la fabrication de dispositifs avancés.
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