Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9151548 à vendre en France
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ID: 9151548
Poly etcher, 8"
Main body
RF Unit
Power box
Clamp
OEM-6A RF Generator
CMH-11SO2 Process manometer
CMH-11SO2 Reference manometer
CMLA-21 He Pressure manometer
UPC-1360 He UPC
839-013522-001 Pressure control valve
AC-2 Controller
MFC:
Channel / Gases / Scale / Connection size
1 / HE / 300 / 1/4" VAC Male
2 / AR / 300 / 1/4" VAC Male
3 / O2 / 2500 / 1/4" VAC Male
4 / C2F6 / 350 / 1/4" VAC Male
5 / SF6 / 250 / 1/4" VAC Male
6 / HBR / 200 / 1/4" VAC Male
7 / CL2 / 300 / 1/4" VAC Male
8 / NF3 / 500 / 1/4" VAC Male
PCW:
Qty / Unit / Connection size
(4) / Main body / 3/8" SWG Male
(2) / RF Unit / 3/8" SWG Male
Vacuum:
Qty / Unit / Connection size
(1) / Main body (Chamber) / ISO 80
(1) / Main body (L/L) / NW-60
CDA:
Qty / Unit / Connection size
(1) / Main body / QC6 Connector
Power supply:
Power box: Φ3, 208 V, 5-Wire, 100 A, 50/60 Hz
Main body: Φ3, 208 V, 5-Wire, 100 A, 50/60 Hz
RF Unit: Φ3, 208 V, 5-Wire, 100 A, 50/60 Hz.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un équipement de pointe conçu pour fournir des performances de précision dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système à base horizontale haute performance offre des taux de gravure rapides et précis, et fournit la plate-forme parfaite pour les applications de gravure et d'ashing les plus exigeantes. Rainbow 4420 peut traiter une gamme de tailles de plaquettes, de 200mm à 8 pouces de plaquettes, ce qui le rend adapté à tous les types de processus de plaquettes. Il est construit à partir d'une chambre de pulvérisation à ultra-vide (UHV) en cycle fermé, offrant un cycle gravure/cendres hautement fiable et reproductible. LAM RESEARCH Rainbow 4420 peut traiter jusqu'à trois entrées de gaz simultanément ; offrant un choix de procédé de gravure ou de cendres pour une flexibilité maximale. Rainbow 4420 dispose d'un processus radio-fréquence (RF) très fiable. Cela garantit des taux de gravure rapides et précis, pour des performances améliorées. L'unité est équipée d'une capacité de détection des points d'extrémité de pointe, permettant de contrôler le processus de gravure du début à la fin. LAM RESEARCH Rainbow 4420 offre une large gamme de gaz de gravure et de cendres, tels que l'oxygène, le tétrafluorure de carbone et l'argon. Les options avancées de contrôle de processus de LAM RESEARCH, telles que les options de contrôle de profil et de pression, offrent une excellente répétabilité du processus. La fonction de contrôle de profil est un procédé basé sur la recette qui permet de contrôler l'épaisseur du dépôt, tandis que l'option de contrôle de pression utilise l'énergie RF pour réguler l'énergie des particules, assure une excellente uniformité entre les plaquettes. Rainbow 4420 est conçu avec la sécurité à l'esprit, y compris une interface LCD à écran tactile conviviale et des fonctionnalités de sécurité comme des contacts de sécurité et des arrêts automatiques de gaz. Il comprend également une machine de relevé des erreurs pour l'enregistrement automatisé des processus, assurant un contrôle maximal des processus et l'élimination des défauts potentiels des processus. LAM RESEARCH Rainbow 4420 est l'outil parfait pour les besoins sophistiqués de gravure/cueillette de semi-conducteurs. Avec des résultats rapides, précis et reproductibles, l'actif est idéal pour garantir des rendements cohérents et une qualité maximale.
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