Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776 à vendre en France
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LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher est un équipement de gravure et de cendrage entièrement automatisé très avancé conçu pour la production rapide et de haute précision de microstructures de circuits intégrés (IC). Le système est conçu pour rationaliser le processus de gravure et de cueillette de micro-caractéristiques complexes avec une précision de contrôle exceptionnelle de la vitesse d'enlèvement des matériaux (MRR), de la rugosité de surface (Ra) et de la tension de seuil (Vth). Rainbow 4420 est équipé d'un robot SCARA 4 axes pour une efficacité globale maximale et pour répondre à un large éventail d'exigences d'application. L'unité dispose également d'une machine de commande de mouvement de haute précision qui gère la fonction robotique, permettant une excellente gravure et l'uniformité des cendres. De plus, l'outil est équipé du logiciel LAM RESEARCH Automatic Intelligent Process Control (IPC) qui fournit un contrôle de processus automatisé haute performance et une surveillance continue pour assurer la qualité du produit. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 est construit avec des capacités avancées de gravure et de contrôle des cendres telles que la pression, la vitesse, la température et les capacités de manipulation des gaz de procédé pour améliorer le contrôle des processus. Cela comprend la capacité de contrôler les températures des gaz de processus à haute température (plus de 550 ° C) et les taux de gravure élevés (> 5 000 Å/min) pour les définitions de caractéristiques de niveau micron ultra-profond. Sa zone de processus pleine tranche peut graver ou cendres jusqu'à un diamètre de poche de 12 pouces et supporte jusqu'à huit poches de gravure dans un seul module. En plus de ses capacités avancées, l'actif Rainbow 4420 est rentable et facile à entretenir. Son modèle intégré de nettoyage humide permet de conserver l'utilisation des produits chimiques, de réduire les déchets et d'augmenter la productivité. L'interface intuitive écran tactile LCD simplifie l'interaction utilisateur et offre un accès facile à la maintenance chimique et aux messages d'erreur, ce qui signifie que les utilisateurs sont informés et actifs dans la maintenance de leur machine. LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher est l'équipement idéal pour les ingénieurs de procédé IC cherchant à maximiser les performances de gravure et de cendres tout en minimisant les coûts de maintenance chimique et d'outils. Avec son contrôle avancé des procédés et sa haute précision de gravure et d'uniformité des cendres, Rainbow 4420 est un système incontournable pour tout environnement de production à l'échelle des puces.
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