Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9184687 à vendre en France
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Vendu
ID: 9184687
Poly etcher, 8"
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Status lamp
SECS I interface
Cassette interface: (2) Hine 38F indexers
Electrostatic chuck (ESC)
Endpoint detection: Monochromator 405nm/520nm
Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C
RF Match type: LAM
On-board RF Generators: No
RF Generator: ENI OEM-650A
RF Hours: 402056
Remote RF cart: No
ATM Passivation module: No
Plasma LLK (PLL): No
High conductance manifold: No
Gas box:
Remote gas box: No
Orbitally welded GB: Yes
Backside cooling MFC: Unit 1250A
Gases:
#1: N2, 200 sccm, unit 1200A
#2: CHF3, 50 sccm, unit 1200A
#3: N2, 300 sccm, aera
#4: N2, 500 sccm, unit UFC 1660
#5: CF4,150 sccm, unit 1200A
#6: SF6,150 sccm, unit 1200A
#7: He, 1 slm, Unit UFC 1660
#8: O2, 200 sccm, unit UFC 1660
Pumps:
Heated pumping manifolds: No
Pump controller: iQ Series
Entrance / Exit: EDWARDS iQDP-40
Main: EDWARDS iQDP-80
Chillers: (2) SMC HRS018-WN-20-M
On-board AC distribution type: Fused
Power requirements: 208VAC, 3-Phase, 5-Wire
1993 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher conçu pour des processus de photolithographie fiables, rentables et à haut rendement dans une variété d'applications corrosives. Cet équipement haute performance offre un mélange optimal de haute résolution, de traitement de grande surface et de contamination minimale. Rainbow 4420 dispose d'une zone de traitement de 30 cm x 45 cm (12 po x 18 po) pour une couverture optimale. Il est construit en acier inoxydable très résistant à la corrosion et peut accueillir efficacement jusqu'à 6 bains de procédé, permettant une large gamme d'applications. Le système est capable de traiter la plus large gamme de matériaux disponibles et comprend même une unité de levage de suscepteur intégrée qui peut accueillir jusqu'à 2,5 cm (1 po) de mouvement de susceptor. De plus, les systèmes uniques de récupération des déchets garantissent que tout résidu de gravure est gardé en toute sécurité à l'écart de la zone de traitement afin de réduire l'impact environnemental. En termes de fonctionnement, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est spécifiquement conçu pour fonctionner dans des environnements à basse température sous vide ou basse pression qui assure un fonctionnement efficace, sûr et fiable. Les élévateurs à ressorts uniques et les orifices de fenêtre à soufflet assurent le contrôle de pression nécessaire au chargement et au déchargement du substrat. En outre, les systèmes intégrés de purge sans particules et la technologie de commutation facile travaillent ensemble pour contrôler les flux de gaz ultra-haute pureté utilisés dans le processus de gravure. En outre, Rainbow 4420 dispose d'une interface utilisateur interactive conçue pour un contrôle et une surveillance faciles. La machine utilise également des diagnostics intelligents embarqués pour l'optimisation continue des processus. Au total, LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher est une solution fiable et rentable pour un procédé de photolithographie de haute précision et à haut rendement. Il offre une combinaison unique de technologie de gravure avancée et de systèmes efficaces de récupération des déchets qui réduisent l'impact environnemental.
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