Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher est un appareil de fabrication avancé développé pour graver et cendrer des films minces. Il est composé d'une chambre de procédé, d'une unité de commande et d'une chambre de résistance. La chambre de procédé est en choréphtalate de polyvinyle (PVC) et contient deux plots électrostatiques et une source d'énergie plasma. Les plots électrostatiques sont chargés de maintenir le film dans des conditions uniformes et stables lors des processus de gravure/cueillette. La source d'énergie du plasma est utilisée pour graver et cendrer les couches minces. L'unité de commande est commandée par une interface graphique et assure la communication entre la machine et l'opérateur. Avec l'unité de commande, les réglages de température et de pression peuvent être ajustés pour optimiser le processus de gravure/cueillette et pour rationaliser les opérations. Rainbow 4420 utilise des techniques réactives de gravure ionique et de cendres assistées par ion pour graver et cendrer des films extrêmement minces. Les couches minces sont exposées au plasma réactif, ce qui permet la dissociation des liaisons matérielles et la gravure ou l'encrassement du film mince. Le plasma réactif est généré par l'outil plasma situé à l'extrémité du système d'alimentation. La chambre fonctionne à basse pression et à haute température et permet des taux élevés de gravure et de cueillette de couches minces avec uniformité sur l'ensemble du substrat. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 est très efficace, car il est capable d'effectuer des opérations de gravure et de cueillette dans une seule chambre de procédé. Il est également équipé d'un système de régulation de température et d'un système de refroidissement en chambre de procédé, qui lui permettent d'obtenir un traitement de haute précision avec des résultats reproductibles. De plus, le Rainbow 4420 est conçu pour réduire les coûts d'exploitation et augmenter le débit. Avec son fonctionnement de haute précision, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un outil idéal pour la gravure et l'ashing de films minces.