Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226088 à vendre en France
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ID: 9226088
Taille de la plaquette: 6"
Poly etcher, 6"
Wafer type: Major flat
Clamp
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A
RF Matcher
Helium cool system
(6) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
Signal tower.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un équipement de pointe de graveur/asher utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est optimisé pour les processus de gravure et de cendrage de haute précision, allant de la gravure peu profonde à la gravure profonde. Le système est bien adapté pour la gravure plasma, la gravure ionique réactive/DEB, la gravure métal/graine, et la cueillette des processus photorésistants. Il offre une fonction de processus répétable, avec uniformité et points d'extrémité serrés, qui est supérieure aux processus manuels. L'unité utilise une source verticale de haute précision, permettant à l'utilisateur de créer un profil gravure/cendres avec pratiquement pas de surgravure ou de sous-cotation de la taille des caractéristiques critiques. Le générateur de formes d'ondes multiples de Rainbow 4420 permet la génération de formes d'ondes multiples pour chaque niveau/lot. Cela permet le contrôle et la répétabilité des processus sur plusieurs bandes. LAM RESEARCH Rainbow 4420 peut produire des formes d'ondes DC, RF et impulsionnelles. Il est également équipé d'un module à simple largeur de quartz, assurant une même livraison de quartz à tous les substrats planaires, assurant ainsi une uniformité sur la plaquette. Il est aussi équipé avec Pouls de Pic d'énergie de 1 kW de haut et d'autres traits qui permettent le contrôle précis de gravent à l'eau forte la profondeur, le profil et l'uniformité à travers tous les niveaux. La machine comprend un outil de surveillance de la puissance RF qui contrôle et optimise la puissance du processus et de l'équipement tout en maintenant les paramètres de gravure les plus précis. L'actif est également équipé d'un détecteur de sourcils RF Elof PA, permettant la validation automatisée des recettes de processus. Le modèle est équipé d'une fonction « Wait for Etch » qui élimine le problème de non-gravure causé par l'énergie DC (biais ou plasma) et la surgravure. Un 'Job File Manager' distinct et un 'Log File Manager' gardent les paramètres de gravure pour chaque lot, s'assurant que toutes les informations importantes sont saisies avec chaque travail de gravure. L'équipement permet l'utilisation de matériel standard, réutilisable et de consommables qualifiés pour les processus afin de maximiser la précision et de réduire les coûts. Rainbow 4420 est compatible avec les procédés de fabrication certifiés ISO 9001 et respecte les exigences des normes de l'industrie des semi-conducteurs. Utilisé en combinaison avec les systèmes avancés de contrôle des processus et de gestion des utilisateurs, LAM RESEARCH Rainbow 4420 offre un rendement de produit supérieur, une excellente répétabilité des processus et une viabilité. Le système permet aux utilisateurs d'optimiser facilement les paramètres de processus en fonction de leurs besoins spécifiques, offrant la flexibilité et la productivité nécessaires pour une production à haut volume.
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