Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9226295
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1990
Etcher, 5"
Wafer type: Major flat
Clamp
Temperature control unit: CS15W Chiller
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A XL
RF Matcher
Helium cool system
EDP
(8) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
O2 / 10 SCCM / FC-770AC
O2 / 200 SCCM / FC-770AC
Vacuum system:
Loadlock: EDWARDS QDP80
P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250
Signal tower
AC Power rack
1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur et asher haute performance conçu pour les opérations de gravure et d'ashing d'une large gamme de matériaux. Il dispose d'une chambre à vide efficace, d'un débit élevé et de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. Rainbow 4420 est un équipement facile à utiliser, doté d'une empreinte plus petite, d'une construction robuste et d'une interface conviviale. Son mécanisme de vide atteint la norme industrielle de 1 Torr. Ses sources d'évaporation sont conçues pour atteindre une température élevée et délivrer des débits élevés avec une faible résistivité du substrat. La chambre est maintenue à température constante de bas en haut par un régulateur de température situé au sommet de l'équipement. En plus de son efficacité et de sa fonctionnalité, LAM RESEARCH Rainbow 4420 dispose d'un système de surveillance et de contrôle des processus à haute performance. Cette unité est capable de fournir des informations en temps réel pendant le traitement, assurant des résultats de haute qualité et des processus reproductibles. Rainbow 4420 est équipé de mécanismes de sécurité avancés pour protéger la machine et les utilisateurs, et comprend des outils pour prévenir les décharges électrostatiques. Cet outil est également résistant aux températures extrêmes et aux gaz corrosifs, offrant fiabilité et longévité. LAM RESEARCH Rainbow 4420 peut être utilisé pour la gravure et le dépôt à sec, le dépôt par couche atomique (ALD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il offre un contrôle précis de l'épaisseur de la couche et d'autres paramètres tout au long du processus de gravure. Les chambres sont également capables de manipuler des substrats jusqu'à 8 po et plus. En fin de compte, Rainbow 4420 est une machine polyvalente et fiable pour des processus de gravure et de cueillette précis et reproductibles. Ses caractéristiques avancées, son contrôle précis et ses avantages en matière de sécurité font de la machine un choix idéal pour les communautés industrielles et scientifiques.
Il n'y a pas encore de critiques