Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 9242186
Taille de la plaquette: 8"
Polysilicon etchers, 8" Stand alone SECS Interface Rainbow mainframe Integrated SMIF Orbitally welded gas box Backside helium cooler Helium cooling MFC type: UPC-8130 Remote RF cart LAM 851-180089-111 Remote RF cart LAM P/N: 851-014680-583-F-GEN Remote RF cart 853-025903-002-A-262C RF Match type Main on-board AC distribution type: Fused Remote AC box Etch chamber Clamp ENI OEM-650A RF Generator EDWARDS IQDP80 Loadlock pump EDWARDS IQDP80 / QMB250 Etch chamber pump (2) LAM 2080 TCU Chillers LAM 852-110198-001-C-6882 Gas box configuration: Gas line / Gas / Flow (sccm) / MFC / Model PM1-1 / HE / 500 / Unit / 1660 PM1-2 / AR / 500 / Unit / 1660 PM1-3 / O2 / 50 / Unit / 1660 PM1-4 / C2F6 / 500 / Unit / 1660 PM1-5 / SF6 / 500 / Unit / 1660 PM1-6 / HBr / 200 / Unit / 1660 PM1-7 / CL2 / 500 / Unit / 1660 PM1-8 / NF3 / 0 / Unit / 1660 Power supply: 208 V, 3-Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un outil de procédé de gravure/cendres conçu pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. L'outil est basé sur la plate-forme de la famille Rainbow, qui est hautement configurable et évolutive pour répondre aux besoins de fabrication de dispositifs en constante évolution. Rainbow 4420 offre le plus haut débit et le coût de possession le plus bas de la famille Rainbow, ce qui en fait une solution idéale pour de nombreuses applications à haut volume de wafer. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 offre une gamme de capacités de processus, y compris gravure/cendres, bande, et gravure double face. Il supporte de multiples chambres de processus et une large gamme de substrats et cathodes, permettant un traitement flexible et précis. La technologie CHA intégrée permet des résultats très élevés, tandis que sa capacité de correction 3D réduit la non-uniformité et améliore les performances des recettes. Rainbow 4420 dispose également d'une commande programmable de placement des plaquettes, fournissant un contrôle précis du mouvement des plaquettes tout au long de la recette. L'outil dispose d'un contrôle et d'une surveillance avancés des processus, permettant une détection et un réglage précis du point final, même dans les applications les plus exigeantes. Le module central de l'outil est le contrôleur Super Fab, qui est capable de gérer jusqu'à 8 chambres de processus simultanément, ainsi que ses systèmes avancés de contrôle et de surveillance des processus. Le Super Fab fournit également un système d'étalonnage intégré pour garantir des performances optimales. LAM RESEARCH Rainbow 4420 est conçu pour une production rapide et peu coûteuse de couches de dispositifs. Il est entièrement conforme aux normes SEMI SECS/GEM et offre 99,9 % de disponibilité. L'outil dispose également d'une large gamme d'options pour les accessoires supplémentaires, y compris les charges de puissance, plaquette factice, et module de pulvérisation. C'est aussi compatible avec la suite de logiciel YieldFlex, le fait de fournir a amélioré une gamme d'options d'optimisation de production. Rainbow 4420 est un outil fiable et efficace, offrant des performances et une fiabilité supérieures. Avec son excellente flexibilité et fiabilité, cet outil est idéal pour de nombreuses applications de fabrication de dispositifs.
Il n'y a pas encore de critiques