Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9262992 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 9262992
Taille de la plaquette: 8"
Plasma etcher, 8" Thru-the-wall (TTW) Status lamp SECS I Interface Cassette interface: (2) HINE 38F indexers Electrostatic Chuck (ESC) Endpoint detection: Monochromator 405nm / 520nm Turbo: SEIKO SEIKI STP H200C RF Match type: LAM RF Generator: ENI OEM-650A RF Hours: 402056 Gas Box: Orbitally welded GB Backside cooling MFC: 1250A No remote gas box Gases: N2, 200 sccm, unit 1200A CHF3, 50 sccm, unit 1200A N2, 300 sccm, area N2, 500 sccm, unit UFC 1660 CF4, 150 sccm, unit 1200A SF6, 150 sccm, unit 1200A He, 1 slm, unit UFC 1660 O2, 200 sccm, unit UFC 1660 Pump: Pump controller: iQ Series entrance Exit: EDWARDS iQDP-40 Main: EDWARDS iQDP-80 (2) SMC HRS018-WN-20-M Chillers On-board AC Distribution type: Fused No heated pumping manifolds No high conductance Manifold No ATM passivation module No remote RF cart No on-board RF generator Chiller and RF included Does not include vacuum pump Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5-Wire.
RECHERCHE LAM Rainbow 4420 etcher/asher est un instrument de haute performance et de précision conçu pour réduire l'érosion, modifier et créer des motifs complexes sur une grande variété de substrats. Rainbow 4420 est un graveur/asher très polyvalent, capable de traiter une variété de matériaux dont le quartz, le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux semi-conducteurs. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 utilise des techniques et des technologies de pointe, telles que l'ablation laser, la gravure assistée par faisceau d'ions, la gravure ionique réactive et le dépôt chimique en phase vapeur, pour produire des résultats exigeants. Doté d'une large gamme de capacités et de fonctions de traitement spécifiques à une application, Rainbow 4420 est conçu pour répondre aux exigences spécifiques de processus d'une variété d'applications électroniques et semi-conductrices, y compris la formation de couches ultra-minces de matériau électriquement conducteur. Avec ces capacités avancées et une réputation de fiabilité et d'efficacité, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est une solution de premier plan pour les demandes de gravure et d'ashing nécessitant une précision et une répétabilité ultra fines. Rainbow 4420 offre une combinaison impressionnante de performance et de flexibilité. Sa conception modulaire garantit une configurabilité optimale pour chaque application et l'architecture de plate-forme ouverte de l'équipement facilite l'échange rapide et l'optimisation des paramètres locaux. Équipé d'un puissant système d'analyse configurable des plaquettes, LAM RESEARCH Rainbow 4420 permet de mesurer et d'analyser avec précision la qualité des résultats de gravure et d'ashing en temps réel. Rainbow 4420 dispose d'une unité mécanique très fiable et d'une gamme polyvalente d'options de chambre à vide pour s'adapter à différents processus, y compris le traitement par lots, monowafer et en ligne. Pour assurer la stabilité du procédé et réduire les sources de non-uniformité induite par la machine, LAM RESEARCH Rainbow 4420 utilise des systèmes avancés de contrôle et de gestion de la température. L'outil peut également être fourni avec un programme d'étalonnage automatique pour assurer un réglage optimal des actifs et des performances. Idéal pour les besoins de gravure et d'ashing haut de gamme, Rainbow 4420 peut être chargé avec jusqu'à 12 recettes de processus, permettant la création de séquences de processus complexes avec facilité. Pour une précision opérationnelle et une répétabilité maximales, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est équipé de deux sources de plasma indépendantes qui peuvent être utilisées pour la gravure et le cendrage. La fonction de surveillance de fin de processus de haute précision permet d'éviter les gravures et les cendres excessives, et son obturateur de haute précision facilite la reproductibilité à +/- 0,2 micron. Avec ses spécifications techniques avancées, Rainbow 4420 fournit à l'industrie une solution puissante et précise pour les applications de gravure et d'ashing dans un large éventail d'industries.
Il n'y a pas encore de critiques