Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300193 à vendre en France
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LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher utilisé dans la technologie des procédés semi-conducteurs. Il convient à l'avant et à l'arrière du traitement des plaquettes et peut être utilisé dans de nombreuses applications, telles que la gravure et l'ashing dans les procédés de gravure et de planarisation en silicium polycristallin et en métal. Le 4420 est conçu pour offrir une grande uniformité, uniformité et débit sur de longues périodes de traitement. Le 4420 est un outil sans contact qui utilise la technologie de gravure et d'ashing à base de plasma pour graver chimiquement la surface des substrats cibles. La conception à double chambre de l'outil élimine la contamination croisée des substrats. Le 4420 est capable de creuser et de recuit à chaud et peut traiter des substrats jusqu'à 125 mm de diamètre. Le 4420 dispose également d'un commutateur breveté de réservoir plasmique rapide t/d qui permet aux utilisateurs de passer rapidement de la gravure plasma à la gravure sèche. Le 4420 est équipé d'un certain nombre de technologies de procédé avancées pour permettre des résultats cohérents et reproductibles. Il offre un réglage avancé pour les processus de gravure de moyenne à haute puissance, ainsi qu'un réglage numérique pour une gravure de faible puissance plus lente. De plus, le 4420 dispose d'une matrice de 16 zones entièrement intégrée qui permet aux utilisateurs d'adapter les processus en fonction de leurs besoins spécifiques d'application. La 4420 est soutenue par LAM RESEARCH recherche et développement intensifs, c'est pourquoi sa conception globale est très fiable et stable. Il est capable de fonctionner régulièrement pendant de longues périodes, même dans des environnements difficiles, ce qui en fait un choix idéal pour les procédés de fabrication à haut volume. L'outil dispose de divers mécanismes de protection pour protéger les substrats sensibles contre les dommages. En outre, il est compatible avec de nombreux systèmes de surveillance et de contrôle des processus, offrant une traçabilité et un feedback avancés. En résumé, Rainbow 4420 est un graveur/asher avancé et fiable qui convient à une variété d'applications avancées de processus. Ses fonctions de matrice multi-zones et d'accord de processus permettent des résultats cohérents et reproductibles, tandis que ses caractéristiques de conception garantissent une grande uniformité et un débit élevé. Avec ses multiples caractéristiques de protection, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est le choix évident pour toute application semi-conductrice.
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