Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300199 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur/asher, également connu sous le nom d'un graveur à plasma, conçu pour déposer des films minces, graver des motifs et créer des revêtements plasma qui soutiennent le traitement des dispositifs. Il peut déposer des couches minces de diélectrique et de silicium polycristallin dans une variété de hauteurs, de largeurs et de profondeurs. Rainbow 4420 etcher offre la capacité de graver ou asher un large éventail de matériaux, y compris le silicium polycristallin, l'oxyde de silicium et le nitrure de silicium. L'graveur offre également une répétabilité et une uniformité exceptionnelles dans le processus de gravure du matériau ou d'asher. LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher utilise un procédé S/D simultané pour déposer et nettoyer uniformément le matériau du substrat. Ce procédé utilise un biais RF combiné, un biais substrat et une injection de gaz pour graver une structure de gravure plus uniforme et nettoyer le substrat de manière très répétable et uniforme. Le procédé combiné supporte également une gravure de haute qualité au coût le plus bas possible. Rainbow 4420 etcher a une architecture modulaire et flexible qui offre une disponibilité et une cohérence élevées entre les matériaux, les substrats et les profils de gravure. L'etcher dispose d'une table rotative à moteur linéaire qui permet une commutation rapide du substrat et offre une flexibilité pour des limites et/ou des conditions variables. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 etcher dispose également d'un système d'alignement basé sur la vision pour réduire l'alignement manuel, ce qui à son tour réduit le risque d'erreur humaine. Rainbow 4420 etcher a plusieurs canaux de gaz et injection directe de gaz pour fournir un débit de gaz optimal, améliorant ainsi la sélectivité et créant un profil de gravure optimisé. Il utilise également un système à vide à pompe turbo, contrôlé par ordinateur avec la technologie de verrouillage de charge pour assurer un traitement plasma propre et cohérent avec un temps minimal d'arrêt de la pompe. LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher est également livré avec un système de contrôle convivial qui peut accéder aux recettes et fournir des informations de processus détaillées sur son interface graphique utilisateur. Le logiciel est livré avec une puissante capacité de traitement par lots et peut être utilisé pour charger, décharger et surveiller plusieurs recettes. Le logiciel permet également la traçabilité des données de processus et des recettes archivées pour une utilisation future. Dans l'ensemble, Rainbow 4420 etcher fournit à l'industrie un outil de gravure et de traitement du plasma rentable qui a été conçu pour la répétabilité et l'uniformité dans divers profils de gravure. La conception unique de l'etcher fournit des résultats de processus reproductibles et uniformes, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir des résultats plus fiables et reproductibles de façon cohérente.