Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9364647 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un équipement de graveur ou d'asher conçu pour assurer une gravure efficace des plaquettes. Ce système dispose d'une chambre de procédé rectangulaire de 2,5 pieds (761 mm) de long et 4,2 pieds (1290 mm) de large. La chambre de procédé est équipée d'une étape de nettoyage en fond de convection, d'un collecteur de gaz pour délivrer et introduire différents gaz dans le procédé, et d'une source de gravure de plasma en aval. Rainbow 4420 est alimenté par un générateur RF de 400 MHz, qui est compatible avec les modes de processus couplés et inductifs. Cela rend l'unité suffisamment polyvalente pour répondre à un large éventail d'exigences de processus. Cette machine fonctionne avec des environnements sous pression et sous vide, permettant un choix de chimies et de techniques de gravure. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 est adapté pour faire une variété de techniques de gravure, telles que la gravure anisotrope, isotrope et ion réactif profond (DRIE). Il offre également un chargement semi-automatisé des plaquettes et une élimination du substrat après gravure, ce qui permet un meilleur contrôle du processus. Rainbow 4420 est configuré pour charger jusqu'à 200 plaquettes de 8 pouces (200 mm) à la fois, mais ce nombre dépendra de la chimie de gravure choisie. L'outil offre des taux de gravure allant de 1 à 400 angströms par minute. Il permet également jusqu'à 6 étapes de gravure séquentielle, qui peuvent être stockées dans des bibliothèques de recettes définies par l'utilisateur. RECHERCHE LAM Rainbow 4420 est un atout de graveur ou asher polyvalent, offrant une foule de capacités de gravure et d'options de contrôle de processus. Son générateur RF 400 MHz permet un large choix de chimies et de techniques de gravure, ainsi que des vitesses de gravure allant jusqu'à 400 angströms par minute. Il a une grande chambre de processus, qui peut contenir jusqu'à 200 plaquettes de 8 pouces (200 mm) à la fois, et offre jusqu'à 6 étapes de gravure séquentielle. Avec des bibliothèques de recettes définies par l'utilisateur pour stocker les processus de gravure, Rainbow 4420 peut fournir des résultats fiables et reproductibles pour toutes les applications de gravure.