Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9374752 à vendre en France
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Vendu
ID: 9374752
Taille de la plaquette: 5"
Oxide etcher, 5"
Bulkhead system mount with tunnel covers
HINE 38A Open cassette
Send / Receive indexers
LED Monitor
ADVANCED ENERGY RF Generator
Moving gap
Back helium colling
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
Upper chamber gap drive encoder
Aluminum upper chamber electrode
Single lower chamber endpoint detector (405 / 520 nm)
Low pressure chamber manifold
HPS Valve for chamber isolation
AC-2 Chamber pressure controller
Lower chamber RGA port
MILLIPORE CMHT-11S02 10 Torr Chamber manometer
MILLIPORE CMLA-21 100 Torr backside helium manometer
TYLAN GENERAL CMHT-11S02 10 Torr reference manometer
(8) Orbital gas boxes
(1300) UPC: He (50 SCCM)
Trip breakers AC / DC power box
Power supply: 208 V, 175 A, 60 Hz, 3 Phase, 5 Wires.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un équipement de graveur/asher de pointe spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Le système utilise une technologie de gravure avancée pour permettre la gravure précise d'une large gamme de substrats, tels que des plaquettes de silicium, des couches d'oxyde et divers diélectriques. Rainbow 4420 dispose d'une construction modulaire avec plusieurs options configurables. Il contient une chambre de traitement humide à haut rendement, une tête de douche à gaz, une unité de gravure assistée par plasma et une machine de distribution avancée pour l'alimentation, le gaz et le liquide de refroidissement qui sont tous intégrés dans une seule unité. La chambre de traitement est conçue pour maintenir un environnement de température et de pression précis, permettant une gravure précise à grande vitesse. La tête de douche à gaz utilise des tampons très concentrés, ainsi que du plasma à basse température pour maintenir la température des gaz de gravure et assurer un maximum d'efficacité et de fiabilité de fonctionnement. Le procédé de gravure assisté par plasma offre un contrôle précis du procédé de gravure, garantissant un résultat de haute qualité. LAM RESEARCH Rainbow 4420 comprend également un outil avancé d'imagerie laser, qui permet la manipulation précise d'une large gamme de substrats. Cela le rend idéal pour les gravures à basse température, de plus grande précision, ainsi que pour les processus à haut courant et à haute résolution. Enfin, Rainbow 4420 a également une série de caractéristiques de sécurité intégrées dans sa construction, assurant la sécurité complète de tous les opérateurs. Il s'agit notamment d'un capteur d'hydrogène, d'un actif de livraison de gaz inerte, d'un modèle d'arrêt d'urgence et d'un équipement de diagnostic intégré. Le système de diagnostic surveille la température, la pression et d'autres paramètres et informe l'opérateur lorsque l'une de ces valeurs est en dehors de sa plage prédéterminée. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est une unité de gravure et de cendrage avancée conçue pour fournir des résultats précis et de haute qualité. Sa combinaison d'une capacité de gravure de précision, de variables de traitement personnalisables et de fonctions de sécurité puissantes en font un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.
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