Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291 à vendre en France
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Vendu
ID: 9384291
Taille de la plaquette: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un équipement de gravure/cueillette de pointe utilisé pour le développement et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs complexes. Grâce à sa technologie de pointe, Rainbow 4420 est en mesure de fournir des performances exceptionnellement élevées dans les processus de gravure et d'ashing. LAM RESEARCH Rainbow 4420 offre une excellente flexibilité en raison de sa grande surface de travail et de sa distance réglable entre les électrodes supérieures de la chambre inférieure. Pour une fiabilité accrue, Rainbow 4420 est équipé d'un système de réglage automatique des électrodes (AEM) qui permet un alignement rapide et précis des électrodes inférieure et supérieure, permettant des processus précis et reproductibles. L'unité est alimentée par une machine automatique de contrôle numérique par ordinateur (CNC) qui lui permet d'effectuer automatiquement plusieurs opérations de gravure et de cueillette différentes. Cet outil CNC dispose d'une haute précision et d'une répétabilité optimale pour un contrôle et une répétabilité des processus exacts. Pour plus de sécurité, LAM RESEARCH Rainbow 4420 est équipé d'une chambre à vide qui aide à protéger l'intégrité des substrats pendant le processus de gravure/cueillette. Cela réduit le potentiel de contamination croisée et contribue au maintien de la qualité des produits finis. Rainbow 4420 est également capable de fonctionner à des vitesses élevées tout en produisant d'excellents résultats. L'actif peut exécuter une variété de recettes de processus, y compris la gravure et l'ashing, pour s'assurer que les exigences les plus complexes sont respectées. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4420 représente un modèle de gravure et de cendrage très avancé qui utilise la dernière technologie disponible pour fournir des résultats supérieurs. Cet équipement est conçu pour l'assurance qualité et un contrôle de processus supérieur qui en fait un excellent choix pour tout laboratoire de développement et de fabrication de semi-conducteurs.
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