Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9410077 à vendre en France
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LAM RESEARCH Rainbow 4420 est un graveur et asher vertical avancé conçu pour une homogénéité et un débit ultra-élevés. Il convient parfaitement pour la fabrication de matériaux à la fois silicium et non silicium. Cette unité autonome offre un contrôle de processus supérieur du plasma basse pression au dépôt d'énergie ionique haute énergie. L'équipement offre un panneau de gaz unique et un système de mélange de gaz innovant, permettant aux utilisateurs d'adapter précisément le processus au matériau ciblé. Avec un panneau de gaz externe, une gravure et un nettoyage in situ uniformes peuvent être réalisés. Une unité optique tridimensionnelle fournit une image interne et externe de la zone de processus avec une résolution à 250 nm. Dans Rainbow 4420, un guide de réseau magnétique assure un traitement extrêmement uniforme des substrats plans et cylindriques. Associé aux processus plasmatiques de la machine, le guide de réseau permet d'ajuster les paramètres en fonction du matériau traité. LAM RESEARCH Rainbow 4420 est conçu pour le transfert de fonctionnalités supérieures. La combinaison d'une chambre avancée et d'un outil source multiple variable permet une excellente définition des caractéristiques à faible résistivité. De plus, l'unité peut atteindre des vitesses ultra-faibles et des profils de petit diamètre jusqu'à 1,5 μ m grâce à un procédé de gravure à sec. Rainbow 4420 est parfait pour la production en grand volume de structures compliquées. Ceci est réalisé grâce à un processus avancé de mise en forme en plusieurs étapes qui peut fournir des caractéristiques à haute résolution jusqu'à 20 nm. En outre, son processus de dépôt à haut rapport d'aspect en plusieurs étapes permet d'augmenter les besoins de remplissage de surface sans compromettre le rendement. LAM RESEARCH Rainbow 4420 est une machine fiable et robuste, hautement automatisée et d'excellente reproductibilité. Son intégration avec la plateforme d'intelligence distribuée LAM RESEARCH élimine les erreurs manuelles et simplifie l'exportation de données. De plus, l'actif comprend plusieurs caractéristiques de sécurité et une large gamme de choix de cheminées pour protéger le personnel et les produits. Dans l'ensemble, Rainbow 4420 est un puissant graveur et asher qui fournit les plus hauts niveaux de contrôle de processus, de transfert de fonctionnalités et d'uniformité. Le panneau de gaz unique du modèle est parfait pour adapter le processus au matériau ciblé, tandis que son guide de réseau magnétique permet une définition supérieure des caractéristiques et le remplissage de la zone. LAM RESEARCH Rainbow 4420 est idéal pour une production à haut volume de structures compliquées avec une résolution inférieure à 20 nm.
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