Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411620 à vendre en France
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Vendu
ID: 9411620
Taille de la plaquette: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher est un équipement avancé de graveur et de décollage pour la fabrication de circuits microélectroniques. Il est idéal pour le dépôt diélectrique, la formation annulaire d'anneaux et le durcissement par oxydation. Rainbow 4420 permet un traitement précis et uniforme des substrats jusqu'à 150mm de diamètre, avec une hauteur maximale de 25mm pour le traitement de soulèvement. Il comprend une option de contrôle de processus à plusieurs niveaux, permettant d'ajuster la température, la pression et les paramètres du cycle temporel pour améliorer la répétabilité du processus et l'efficacité de la production. LAM RESEARCH Rainbow 4420 utilise une configuration à deux chambres. La chambre de gravure offre l'avantage de la technologie plasma atmosphérique, offrant une gravure uniforme avec un environnement de travail propre et à faibles particules. La chambre de soulèvement assure la manutention automatisée des substrats, ainsi qu'un mécanisme de focalisation magnétique haute performance pour des précisions de processus plus élevées. La chambre de gravure de Rainbow 4420 est conçue pour fournir un traitement propre et exempt de résistances, de poussières et de particules métalliques. La chambre est contrôlée en température, ce qui facilite la gestion des temps de traitement. Son système de contrôle numérique permet une utilisation efficace des ressources en gaz et des résultats gravés. La chambre de décollage de LAM RESEARCH Rainbow 4420 est équipée d'un élément de focalisation de type segmenté à haute performance, avec des résultats très précis. La chambre offre également un poste de contournement pour le transfert du substrat vers la chambre de soulèvement. Rainbow 4420 dispose d'un contrôle précis des processus avec une large gamme de paramètres programmables, y compris les réglages de pression et de température. Avec un bon fonctionnement et un contrôle précis, cela permet à l'unité de produire des résultats cohérents. Il dispose également d'une machine de gestion des matériaux pour assurer un mélange précis de gaz et de produits chimiques pour un contrôle parfait des processus. LAM RESEARCH L'outil Rainbow 4420 est livré avec une interface logicielle intuitive basée sur Windows, permettant aux opérateurs d'avoir un contrôle total sur le processus de gravure ainsi que le processus de soulèvement. Cela permet une surveillance approfondie, une modification des performances et une journalisation des données pour un contrôle et une précision maximum. Rainbow 4420 est une machine de gravure et de décollage sophistiquée qui offre le plus haut niveau de précision et de contrôle pour la fabrication de circuits microélectroniques. Avec son traitement puissant et son contrôle précis, il peut aider les utilisateurs à maximiser les résultats et la productivité dans le processus de fabrication.
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