Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293712817 à vendre en France
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ID: 293712817
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Gas box (8 MFC)
Open cassette type: HINE 38A
E-Chuck
CRT Monitor
Remote monitor
Fore-Line
Process chamber
Gas box
CPU type: Pentium 133 MHZ
Chamber:
ESC, 8"
Focus ring
Face-upper ring electrode, ceramic
Upper electrode
Orifice filler, ceramic
Upper baffle
Lower baffle
View window
Cathode clamp ring
Lifter wafer 4 pin new type
Ring colling electrostaic
Part number / Description
716-011009-001 / View window
853-001983R005-R / Endpoint dection
810-017086-010 / ESC power supply
853-011054-001 / MKS Chamber manometer
797-093824-203 / Unit pressure control 8130 he sccm
853-031764R-001 / Lift pin cylinder
796-006238-001 / Throttle valve controller
853-013541-002 / Assy throttle valve
ADVANCED ENERGY RFG 1250 RF Generator:
RF Power cord
RF Cable
TCU Signal cable
TCU Channel to interconnect
Part number / Description
5027-000-3 / ADVANCED ENERGY PDX-1250 RF Generator
853-015130-002 / Assy RF Match gear driven
810-017003-001 / PCB / DIP
Transfer:
Part number / Description
853-012100-003-C-230S / Robot (ELL and XLL)
853-012600-101 / Load index assy
853-029295-101 / Unload index assy
853-012261-001-4-230D / Inner door
853-140013-001-1-230 / Outer door
605-017016-100 / Assy stepper PCB Motor drive
853-029462-001 / XLL Wafer sensor
VME PCB:
Part number / Description
810-017034-005 / Assy PCB VME 68030
810-017031-004 / ASSY PCB ADIO-AO
810-017038-002 / SIO PCB
810-017388-003 / Ethernet address PCB
Power supply:
Part number / Description
660-091820-001 / DC Power supply: +24V
660-091821-001 / DC Power supply: 5V / 12V / 15V / 24V.
LAM 4420B etcher/asher est un outil professionnel qui est utilisé pour graver et graver des surfaces dans une variété de matériaux, y compris le métal, le plastique, la céramique, le verre, et plus encore. L'équipement utilise un procédé plasma avancé qui implique l'application de plasmas haute vitesse et haute pression. Ce procédé est capable de graver les caractéristiques et les structures à grande vitesse avec une grande précision. Il peut également être utilisé pour la coupe et le lissage de surface. 4420B possède plusieurs caractéristiques distinctives qui en font un outil efficace et fiable. Il dispose d'un système d'alignement de faisceau guidé par laser qui fonctionne sur un contrôleur de mouvement basé sur la cadence, afin qu'il puisse suivre avec précision les contours du matériau à graver. Cette fonctionnalité garantit que la machine produira des résultats cohérents même pour les travaux avec des motifs et des angles compliqués. En plus de fournir la précision, LAM 4420B dispose également d'une gamme de fonctionnalités facultatives qui peuvent être ajoutées à l'unité, permettant aux utilisateurs de personnaliser la machine pour des applications de gravure spécifiques. Ces caractéristiques comprennent un outil secondaire de refoulement de pression et de gaz, une chambre de régulation de température et une variété de supports de substrat préprogrammés standard et optionnels. La large gamme de supports de substrat permet d'utiliser la machine pour diverses applications. En termes de sécurité, 4420B dispose de plusieurs dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un bouclier à vide intégré à la terre pour protéger contre les particules errantes et un moyen de confinement pour protéger contre les gaz nocifs. Ce modèle fonctionne également sur une atmosphère autonome d'azote sans oxygène (OFN), nécessaire au bon fonctionnement. En conclusion, LAM 4420B est un outil efficace et fiable pour graver et aspirer une variété de matériaux. Il fournit des résultats de haute précision pour des formes de conception compliquées tout en maintenant la sécurité avec son atmosphère OFN et des caractéristiques de sécurité supplémentaires. Sa capacité à être personnalisé pour des applications spécifiques en fait un choix idéal pour les industries nécessitant un équipement robuste pour la gravure et l'ashing.
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