Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4420B #293828102 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4420B est un graveur/asher conçu pour produire des gravures uniformes de haute qualité sur de larges plages de matériaux et de caractéristiques. Cet équipement hautement automatisé est équipé d'une source d'ions et d'un contrôleur qui est conçu pour s'aligner avec précision, permettant un positionnement rapide et précis des ions pour une vitesse de gravure et une uniformité optimales. Le contrôleur est capable de contrôler la fréquence et la puissance de la source, permettant de fixer des fréquences et des niveaux de puissance plasma multiples pour des applications telles que la gravure à haut rapport d'aspect, ainsi que le nettoyage plasma. Sa capacité à maintenir une répartition uniforme des ions à l'intérieur de la chambre du réacteur assure en outre un profil de gravure uniforme. Rainbow 4420B est équipé de deux chambres de réaction distinctes, toutes deux en acier inoxydable pour une meilleure résistance à la corrosion. Les chambres sont commandées par USB, ce qui permet une configuration et un fonctionnement faciles. Les deux chambres sont équipées d'alimentations RF, capables de contrôler les niveaux de puissance. Le système d'entrée de gaz unique permet l'introduction de gaz Ar, N2, O2 et d'autres gaz de procédé dans le graveur/asher. En outre, l'unité est également équipée de fonctionnalités telles qu'un régulateur de température avancé, une machine de contrôle du vide, et un outil de diagnostic sophistiqué, qui sont tous conçus pour optimiser la performance des actifs. Le régulateur de température permet un contrôle précis de la température sur les deux chambres réactionnelles et le modèle de contrôle du vide permet un rainage rapide des pressions de processus. LAM RESEARCH Rainbow 4420B est également équipé de capacités de mesure avancées telles que des mesures de réflectance en couches minces, des moniteurs à cristaux de quartz et des interféromètres optiques. Ces fonctionnalités sont conçues pour faciliter le contrôle du processus, ainsi que pour permettre une surveillance en temps réel du processus de gravure. Rainbow 4420B offre une excellente solution pour les applications de gravure et d'ashing, avec sa combinaison de précision, de flexibilité et d'uniformité. Ses fonctionnalités avancées et les opérations automatisées permettent une meilleure répétabilité des processus et un débit élevé, tandis que ses fonctions diagnostiques sophistiquées permettent une détection rapide des pannes. L'équipement est un excellent choix pour les applications qui nécessitent une gravure rapide, haute densité et des tailles uniformes.