Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796 à vendre en France

LAM RESEARCH 4500 est un équipement réactif de gravure d'ions (RIE) utilisé pour les processus de gravure à sec. Il est équipé d'une plaque parallèle LAM RESEARCH de 26 cm de large surface source de plasma pour CO2/SF6 qui fournit des taux de gravure élevés et l'uniformité. Le système peut accueillir des plaquettes de 200 mm, et peut graver uniformément des surfaces avec une gamme de niveaux de dopage. Il est capable de graver des matériaux difficiles tels que l'Al2O3, le SiO2 et les matériaux organiques. L'unité dispose de 13 chambres de traitement qui permettent des procédés plus sophistiqués et précis pour la gravure des plaquettes. La précision du processus de gravure est améliorée avec un distributeur de plaquettes de commande, qui peut accueillir une épaisseur constante sur différentes plaquettes. La machine a également un processus de zone flottante à vitesse de précision, permettant d'ajuster avec précision le processus de gravure aux matériaux en cours de gravure. D'autres caractéristiques de l'outil comprennent un contrôle de la température et de la pression pour aider à créer des processus de gravure répétables et cohérents. 4500 peut être utilisé pour la gravure de divers matériaux, tels que les oxydes métalliques, les composés, les nitrures, les oléfines et autres. Avec son procédé de gravure de précision et sa fiabilité à long terme, il est idéal pour diverses applications, y compris les dispositifs MEMS, les nanotechnologies et les circuits micro-fabriqués.