Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293640389 à vendre en France

ID: 293640389
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6" ESC RF Generator and match: 2 MHz / 27 MHz OSAKA HGP TS443 Pump End point detector: Monochromator Orbital gas box Load lock system.
RECHERCHE LAM Rainbow 4520 XL est un équipement de graveur/cendrier qui utilise une technologie de pointe pour graver et cendrer sur une variété de substrats, y compris les plaquettes et les métaux. LAM RESEARCH RAINBOW 4520XL fournit un système avancé pour la gravure des tranchées à haut rapport d'aspect, ainsi que la gravure en creux ultra-profond et la gravure haute vitesse et haute résolution des substrats difficiles. Rainbow 4520 XL offre des performances de pointe de l'industrie dans sa capacité à graver des tranchées peu profondes et profondes avec une uniformité constante et des tailles de lignes fines. L'unité dispose d'une machine à gaz turboréacteur haute pression qui est intégrée à une source de plasma de haute précision, maximisant la productivité et fournissant des résultats de processus fiables. Les options de livraison de gaz sur le 4520 XL permettent également une grande variété de produits chimiques de gravure pour différentes applications de processus. L'outil dispose d'un outil de balayage automatique à fente en boucle fermée qui utilise une conception innovante d'injecteur à double gaz qui permet un contrôle cohérent du débit de gaz pour des processus de gravure et de cendres précis. Ce modèle utilise des algorithmes avancés de contrôle des processus pour s'assurer que le débit optimal de gaz, la pression du gaz et les paramètres de gravure/cendres sont toujours respectés. L'équipement d'injection de gaz est également conçu pour assurer un flux de processus optimisé lors de la gravure avec des couches plus minces. RAINBOW 4520XL offre des performances de pointe pour la gravure de différents substrats, y compris l'acier inoxydable, l'aluminium, le titane et d'autres métaux. La gravure à haute vitesse et haute résolution de ces substrats permet de réaliser même les géométries les plus difficiles. Le système offre également une variété de fonctionnalités avancées, y compris la surveillance intégrée des processus, la détection et le diagnostic des pannes, et l'optimisation des performances des processus. L'unité de surveillance intégrée des processus comprend une variété d'alarmes qui peuvent être facilement configurées pour alerter les opérateurs de toute erreur ou de tout problème de processus qui doit être réglé, et la machine de détection et de diagnostic des défauts peut fournir des informations précieuses en retour et en processus pour identifier tout problème de processus qui pourrait devoir être réglé afin d'obtenir des résultats optimaux. Enfin, la fonction avancée d'optimisation du procédé permet d'ajuster dynamiquement le taux de gravure, la position de la plaquette et les paramètres de gravure/cendres, garantissant ainsi les niveaux les plus élevés de productivité et de qualité du procédé. En résumé, LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL est un outil de graveur/asher qui offre des performances de pointe et une flexibilité de processus pour la gravure des plaquettes et des métaux avec des tranchées à haut rapport d'aspect, une gravure en creux ultra-profonde et une gravure haute vitesse et haute résolution. L'actif est conçu pour fournir les plus hauts niveaux de qualité, de productivité et de répétabilité des processus, tout en fournissant aux opérateurs une surveillance avancée des processus, la détection et le diagnostic des défauts, et des fonctionnalités d'optimisation des processus pour assurer des résultats optimaux.
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