Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520 ultra haut débit asher and etcher est un équipement de haute performance conçu pour le développement avancé de dispositifs semi-conducteurs. Rainbow 4520 est idéal pour le traitement par lots critique pour la R-D, la science des matériaux et les sciences de la vie. Le système est composé de plusieurs chambres, capables de fonctionner à la fois en mode gravure (sèche) et ashing (humide). RECHERCHE LAM Rainbow 4520 dispose d'un contrôle de précision des processus avec un four à rotation de 300 degrés et un total de neuf entrées de gaz contrôlées indépendamment, permettant une grande variété de flux de processus. Un ordinateur intégré permet à un utilisateur de programmer, surveiller et contrôler facilement chaque étape du processus. Les chambres multiples intégrées offrent une flexibilité de fonctionnement, avec la capacité de fonctionner à faible, moyen et élevé processus de gravure thermique et de cendrage à haute température dans une variété de configurations. L'unité peut être facilement surveillée et contrôlée dans tous les modes de fonctionnement, avec une surveillance en temps réel de la température à l'intérieur de la chambre, permettant un réglage pour maximiser le débit et le rendement du processus. En outre, Rainbow 4520 dispose d'une source de plasma RF unique, avec un bol d'injection de gaz et des torches intégrées, permettant un traitement plasma uniforme à basse température, améliorant le débit, l'adhérence et l'uniformité. La source RF intégrée génère un plasma de faible puissance, idéal pour développer de nouveaux photorésistants, améliorer la sélectivité des cendres et améliorer l'uniformité des taux de gravure. RECHERCHE LAM Rainbow 4520 dispose également de diagnostics interfaciaux pour assurer la qualité du processus de gravure et d'ashing. Plusieurs caractéristiques supplémentaires font de Rainbow 4520 une machine de gravure et de cendrage fiable et exceptionnelle. Ces caractéristiques comprennent un outil de transfert entièrement automatisé contrôlé par recette et un actif de vérification de l'intégrité des échantillons conçu pour empêcher le mauvais traitement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un excellent choix pour tous ceux qui recherchent un modèle de gravure et d'ashing haute performance. Ses caractéristiques sophistiquées et sa conception robuste en font un choix idéal pour la R-D, la science des matériaux et les applications des sciences de la vie. Avec une grande variété de flux de processus, un contrôle précis des processus, une source RF intégrée et des diagnostics interfaciaux, cet équipement offre d'excellentes performances et des résultats fiables.