Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9098084 à vendre en France
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Vendu
ID: 9098084
Oxide etcher, 8"
Wafer type: SEMI
Wafer clamping: ESC
Standard open cassette
Software: Classic.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un graveur et asher de pointe conçu pour effectuer des tâches de micromachinage précises avec un maximum d'efficacité. Cet équipement tout-en-un offre des capacités intégrées de traitement monobloc et par lots, avec la flexibilité nécessaire pour répondre à un large éventail de besoins industriels. Rainbow 4520 est l'un des modèles les plus avancés de sa catégorie, offrant une productivité, des performances et une fiabilité supérieures dans une solution pratique. En ce qui concerne ses spécifications techniques, LAM RESEARCH Rainbow 4520 dispose d'une serrure de charge de 10 pouces (254 mm) avec un temps de charge/déchargement de seulement 8,5 secondes pour le traitement d'une seule plaquette, et de 16 secondes pour les charges par lots. Ceci est réalisé par un système de transport de plaquettes à grande vitesse, entraíné par un puissant moteur à courant continu sans balais 9 ampères, 30 W. En outre, Rainbow 4520 offre un taux de gravure/aspiration optimal de 10 plaquettes par minute, surpassant ses concurrents. De plus, LAM RESEARCH Rainbow 4520 dispose d'une unité de nettoyage automatisé avec une tête de douche de teinture avancée pour fournir un nettoyage efficace pour deux substrats simultanément. Cette machine dispose également d'une gamme de fonctions avancées de contrôle des processus, assurant un contrôle optimal des processus et la répétabilité. Cela inclut la mesure précise en temps réel et la rétroaction de plusieurs points de données, ajustant en fonction des paramètres définis dans la recette. En outre, Rainbow 4520 dispose de diverses capacités de gravure/aspirée avec la capacité optionnelle Etch Plus et/ou Aspirate Plus. Cela garantit la polyvalence pour répondre aux exigences de processus difficiles depuis la gravure de base jusqu'aux rapports d'aspect difficiles à atteindre. L'outil est également équipé d'une opération de détection de panne entièrement automatisée, d'une récupération d'arrêt et de diagnostics connexes pour améliorer le temps de disponibilité des actifs. Enfin, le Rainbow 4520 de LAM RESEARCH dispose d'une alimentation RF d'appoint élevée pour fournir une vitesse de gravure plus élevée en contrôlant automatiquement la puissance RF en fonction de la pression et de la température du procédé. Cette capacité d'entraînement est soutenue par un modèle de débit de méthane en boucle fermée qui est conçu pour maintenir un débit de gaz précis, assurant des résultats de processus cohérents. Une fonction d'auto-purge avancée surveille les niveaux de carbone dans la chambre de gravure afin de limiter la contamination et de prolonger la durée de conservation de la chambre. En résumé, Rainbow 4520 est un graveur/asher avancé offrant des performances, une gestion et une automatisation supérieures dans une solution intégrée. Avec sa productivité élevée et son contrôle amélioré des processus, il est l'outil idéal pour obtenir des résultats de micromachining précis rapidement.
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