Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520
ID: 9175702
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6" Clamp process kit, 6" Operating system: Envision LAM 2080 Chiller.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un graveur/asher de pointe conçu pour les applications avancées de gravure et d'ashing. Rainbow 4520 dispose d'une technologie laser à double faisceau pour un débit et une productivité élevés, d'une conception de chambre unique pour une densité de plasma optimale et d'une large gamme d'options de contrôle des processus et de l'environnement. LAM RESEARCH Rainbow 4520 est équipé d'une source d'énergie RF et DC de haute puissance, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs processus grâce à un contrôle indépendant des deux sources. Le graveur/asher offre une variété de recettes de processus qui permettent une variété de processus de gravure, de cendre, de dépôt et de nettoyage. Tous les processus sont optimisés pour améliorer le débit et les rendements. Le design de chambre unique de Rainbow 4520 offre une utilisation efficace de l'énergie du laser à double faisceau et une densité de plasma uniforme. Cela permet des processus très fins avec une fuite minimale, réduisant le besoin d'intervention manuelle. La chambre dispose également de plusieurs sources pour les espèces réactives et d'un vide PECVD pour améliorer le contrôle des processus. LAM RESEARCH Rainbow 4520 fournit également un ensemble complet d'outils logiciels propriétaires, de l'automatisation des processus à la surveillance des processus et à l'enregistrement des données. En outre, l'équipement supporte les techniques de métrologie et de détection, telles que la profilométrie, la spectroscopie, l'ellipsométrie et l'optique sans contact, pour assurer un contrôle précis du processus. Le système complet assure un contrôle complet des processus tout au long des processus de gravure et de cueillette. Rainbow 4520 est équipé d'une interface complète et conviviale pour assurer un fonctionnement sûr et convivial. L'unité est vérifiée et calibrée pour des processus reproductibles précis, avec la capacité d'étalonnage ou de raffinement en fonction de la rétroaction de l'utilisateur. La machine fournit également un accès à distance pour le stockage et le support de données à distance, en veillant à ce que le support client soit disponible en cas de besoin. RECHERCHE LAM Rainbow 4520 est un graveur/asher idéal pour une production à grande échelle, conçu pour obtenir des temps de cycle plus rapides et des rendements plus élevés que les outils traditionnels de lithographie et de gravure. Avec ses caractéristiques performantes, robustes et son interface facile à utiliser, Rainbow 4520 est un chef de file de l'industrie pour les applications avancées de gravure et de cendrage.
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