Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9277852 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher est un graveur/asher de classe mondiale pour le traitement de substrat avec une configuration de matériel supérieure et une technologie de pointe pour améliorer le contrôle des processus et l'uniformité. Les caractéristiques de Rainbow 4520 Asher comprennent un recuit thermique rapide (RTA), un refroidissement rapide et un thermosoudage programmable avancé. Cela permet un traitement à haute température allant de 25 ° C à des températures élevées de 1400 ° C, ce qui est idéal pour les applications avancées. LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher est équipé d'un compteur/contrôleur d'oxygène avancé qui surveille et contrôle l'oxygène total en cours de fabrication pour la gravure et le recuit. Cela garantit un processus optimisé et des résultats précis. Rainbow 4520 Asher est capable de fournir un taux de gravure plus de dix fois plus rapide que les autres graveurs actuellement sur le marché. Cela augmente la productivité et le temps d'exécution. Grâce à un système avancé de contrôle et de surveillance des processus, des capacités diagnostiques avancées et une protection intégrée contre les pannes, les taux de gravure et la cohérence des matériaux sont également bien assurés. Le dispositif a une capacité de suivi automatique standard des plaquettes pour assurer un processus cohérent de tous les substrats. RECHERCHE LAM Rainbow 4520 Asher offre une excellente uniformité, qui est obtenue par une construction opto-mécanique lourde et l'utilisation d'actionneurs électromagnétiques de haute précision. Des caractéristiques supplémentaires telles que la compatibilité multiple de la taille du substrat, la conception modulaire de la chambre de processus et les processus diélectriques RF, offrent une uniformité et une flexibilité supplémentaires. Le Rainbow 4520 Asher est équipé d'une alimentation basse et haute fréquence pouvant atteindre 8 fréquences. Cela permet d'augmenter la productivité avec de multiples recettes de processus ou un recuit in situ multi-étapes pour améliorer les performances. L'appareil dispose également d'un appareil photo InGaAs unique en ligne qui permet de sélectionner automatiquement les dimensions et d'identifier les substrats, ce qui réduit considérablement le temps de retouche manuelle. LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher fournit le maximum de précision dans le traitement des substrats. Avec un matériel supérieur, un contrôle et une surveillance avancés des processus, une meilleure uniformité des processus et des résultats précis, Rainbow 4520 Asher est un choix idéal pour de nombreuses applications de l'industrie.