Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 à vendre en France
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ID: 9280619
Taille de la plaquette: 6"
Oxide etcher, 6"
Gases:
Gas 1 / AR
Gas 2 / CF4 / SF6
Gas 3 / CHF3
Gas 4 / HE
Gas 5 / O2
UPC HE
Standard gas box
Calibration
Gas weldment polish
Bottom gas panel exhaust
Wafer transfer:
Open cassette exit, 6"
Entrance load lock wafer holder
Hinge 38A receiver / Sender indexer
Belt driven load station
Standard load station shuttle spatula
AC power:
Fuses for AC/DC power box
AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A
RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz
Chamber configuration:
Envision system with CRT
Bulkhead system mount
Chamber with variable gap electrode
Automatic match system
Electrode temperature unit interface
Endpoint detector: Monochromatic
ESC Chuck and module
Viton O-ring all change
Standard clean gas box
Pressure control system:
APC Controller
Throttle valve
Isolation valve open / Close type
Upper and lower electrode temperature control:
Chiller type: 2080 TCU
Dual system
Vacuum system
Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250
Pump / IH600
Load lock chamber: EDWARDS QDP80
Dimension and facility
Physical dimensions
Power requirements
Exhaust requirements
Cooling water
Nitrogen
Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un graveur/asher avancé adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable d'offrir des performances, une qualité et une productivité supérieures. Avec un design de chambre optimisé qui permet un débit rapide, Rainbow 4520 est un équipement de gravure fiable et productif. LAM RESEARCH Rainbow 4520 est capable de fournir d'excellents résultats de processus avec une contamination minimale des particules. Il dispose d'une turbo-pompe à haut rendement, ainsi que de puissantes procédures chimiques et de gravure pour atteindre un débit élevé avec d'excellents résultats de qualité. De plus, l'etcher dispose d'un système de chargement et de déchargement rapide des plaquettes pour optimiser le processus de production. Rainbow 4520 dispose également d'une unité à gaz innovante 0-1-1 ultra haute pression (UHP) qui permet la production de dispositifs à motifs sophistiqués avec des profils de contraintes faibles. La machine dispose de parois de dépôt de pointe, d'un panneau de gaz avancé et d'une chambre de traitement, ainsi que d'un régulateur de température pour minimiser la contamination par les particules et les défauts. La technologie Asher permet une excellente uniformité des couches, des temps de cycle rapides et une productivité élevée. LAM RESEARCH Rainbow 4520 offre les meilleures performances de cendrier, pour un rendement d'appareil maximisé et une excellente uniformité de profil avec des quantités plus élevées de traitement des matériaux. L'outil est configuré avec un contrôle de processus robuste adapté aux contrôles de qualité et à l'ajustement des processus. Rainbow 4520 supporte également des composants avancés de soufflet et de chicane, permettant une gravure HF plus efficace à ultra-basse pression. En outre, l'actif peut être configuré avec des diagnostics de capteurs uniques qui permettent une rétroaction rapide des processus, la maintenance en ligne, et l'amélioration continue des performances et du rendement de gravure. Enfin, LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un modèle de gravure de précision économique qui offre une productivité, une qualité et un débit supérieurs dans un emballage économique. Avec un contrôleur intégré et une large gamme d'options, Rainbow 4520 est une solution idéale pour une large gamme d'applications dans l'industrie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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