Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9280619 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520
ID: 9280619
Taille de la plaquette: 6"
Oxide etcher, 6" Gases: Gas 1 / AR Gas 2 / CF4 / SF6 Gas 3 / CHF3 Gas 4 / HE Gas 5 / O2 UPC HE Standard gas box Calibration Gas weldment polish Bottom gas panel exhaust Wafer transfer: Open cassette exit, 6" Entrance load lock wafer holder Hinge 38A receiver / Sender indexer Belt driven load station Standard load station shuttle spatula AC power: Fuses for AC/DC power box AC Input power supply: 208 V, 3 Q, 5 W, 30 A RF Power supply: 2.2 kW, 400 kHz Chamber configuration: Envision system with CRT Bulkhead system mount Chamber with variable gap electrode Automatic match system Electrode temperature unit interface Endpoint detector: Monochromatic ESC Chuck and module Viton O-ring all change Standard clean gas box Pressure control system: APC Controller Throttle valve Isolation valve open / Close type Upper and lower electrode temperature control: Chiller type: 2080 TCU Dual system Vacuum system Main chamber: EDWARDS QDP80+QMB250 Pump / IH600 Load lock chamber: EDWARDS QDP80 Dimension and facility Physical dimensions Power requirements Exhaust requirements Cooling water Nitrogen Compressed air: CDA / N2.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un graveur/asher avancé adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable d'offrir des performances, une qualité et une productivité supérieures. Avec un design de chambre optimisé qui permet un débit rapide, Rainbow 4520 est un équipement de gravure fiable et productif. LAM RESEARCH Rainbow 4520 est capable de fournir d'excellents résultats de processus avec une contamination minimale des particules. Il dispose d'une turbo-pompe à haut rendement, ainsi que de puissantes procédures chimiques et de gravure pour atteindre un débit élevé avec d'excellents résultats de qualité. De plus, l'etcher dispose d'un système de chargement et de déchargement rapide des plaquettes pour optimiser le processus de production. Rainbow 4520 dispose également d'une unité à gaz innovante 0-1-1 ultra haute pression (UHP) qui permet la production de dispositifs à motifs sophistiqués avec des profils de contraintes faibles. La machine dispose de parois de dépôt de pointe, d'un panneau de gaz avancé et d'une chambre de traitement, ainsi que d'un régulateur de température pour minimiser la contamination par les particules et les défauts. La technologie Asher permet une excellente uniformité des couches, des temps de cycle rapides et une productivité élevée. LAM RESEARCH Rainbow 4520 offre les meilleures performances de cendrier, pour un rendement d'appareil maximisé et une excellente uniformité de profil avec des quantités plus élevées de traitement des matériaux. L'outil est configuré avec un contrôle de processus robuste adapté aux contrôles de qualité et à l'ajustement des processus. Rainbow 4520 supporte également des composants avancés de soufflet et de chicane, permettant une gravure HF plus efficace à ultra-basse pression. En outre, l'actif peut être configuré avec des diagnostics de capteurs uniques qui permettent une rétroaction rapide des processus, la maintenance en ligne, et l'amélioration continue des performances et du rendement de gravure. Enfin, LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un modèle de gravure de précision économique qui offre une productivité, une qualité et un débit supérieurs dans un emballage économique. Avec un contrôleur intégré et une large gamme d'options, Rainbow 4520 est une solution idéale pour une large gamme d'applications dans l'industrie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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