Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845 à vendre en France
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ID: 9296845
Taille de la plaquette: 8"
Oxide etcher, 8"
Clamp
Gas supply:
Gas / Range / Connection size
He / 1 SLM / 1/4" VAC Male
O2 / 20 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 100 SCCM / 1/4" VAC Male
Ar / 1 SLM / 1/4" VAC Male
CF4 / 400 SCCM / 1/4" VAC Male
CHF3 / 100 SCCM / 1/4" VAC Male
(4) PCW
Connection size: 3/8" SWG Male
ISO 80 Vacuum
NW-60 Vacuum
CDA QC6 Connector
RF Unit:
(2) PCW
Connection size: 3/8" SWG Male
Power supply: 208 V, 5 Wires, 30 A, 50/60 Hz, 3 Phase
Power box:
Power supply: 208 V, 5 Wires, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un équipement avancé de graveur/asher qui utilise le transfert thermique d'énergie pour fabriquer une grande variété de matériaux. Il est principalement utilisé pour le traitement de plaquettes semi-conductrices et de circuits intégrés, ainsi que pour le masquage, la planarisation et la modification de surface. Le système est équipé d'une unité d'axe linéaire à 3 axes, d'un contrôle dynamique de la pression capacitive et d'une chambre de procédé réglable. La machine 3 axes est capable de réaliser des processus reproductibles jusqu'à 300 mm/s, permettant la création précise de motifs haute densité. La pression capacitive dynamique est utilisée pour contrôler les vitesses d'élimination du matériau, assurant des vitesses de gravure uniformes sur la surface du matériau. De plus, la chambre de procédé offre une température maximale de 45 ° C, permettant de traiter les matériaux à basse température, minimisant ainsi les dommages au travail. L'interface utilisateur intuitive de Rainbow 4520 facilite également l'accès aux paramètres avancés du processus. Il offre un ensemble de contrôle de processus comprenant le développement de recettes, le suivi des plaquettes et la surveillance des processus. De plus, une rétroaction en temps réel est fournie pour s'assurer que chaque plaquette est traitée avec précision. Grâce à l'outil Rainbow 4520 de LAM RESEARCH, les utilisateurs peuvent transformer la surface de divers matériaux, dont le silicium, l'arséniure de gallium et le tantale. Cet outil multicouche peut être utilisé pour la gravure, le cendrage, le CVD et résister au dénudage avec précision. Il offre également un contrôle précis de la pression et de la température, permettant un réglage précis des processus de gravure et de cueillette. Rainbow 4520 est également livré avec une gamme d'accessoires, tels que des serrures de charge, des modules de contrôle de température et un actif d'alimentation en gaz inerte. Ces accessoires permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision les processus de gravure et de cueillette, contribuant ainsi à garantir l'exactitude des résultats. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un modèle de graveur/asher puissant qui offre un contrôle de précision des processus. Il est spécialement conçu pour la fabrication de circuits intégrés haute densité, permettant la création de motifs complexes. En outre, son interface utilisateur intuitive et sa gamme d'accessoires en font un équipement idéal pour une gamme d'applications.
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