Occasion LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070 à vendre en France

LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un graveur/asher très avancé conçu pour fournir des résultats performants et efficaces. C'est un système révolutionnaire de gravure et de cendrage qui est conçu pour graver rapidement et avec précision et cendrer même les substrats les plus difficiles. Rainbow 4520 a une configuration de coude de 200 mm, lui permettant de traiter 96 substrats simultanément. Il est équipé d'un système puissant de 21 chambres capable d'ashing et de gravure de bandes de différents types de substrats avec des performances exceptionnelles. RECHERCHE LAM Rainbow 4520 dispose également d'une technologie de pointe - la gravure séquentielle assistée par plasma (SPA), qui lui permet de maintenir une précision stricte pendant la gravure et la cendre. La chambre de procédé haute pression et température de Rainbow 4520 lui permet de graver et d'asher avec un débit et une maniabilité améliorés. De plus, le générateur de plasma optimisé pour le séchage aide également son processus à être exécuté rapidement et avec une meilleure contrôlabilité. Il est équipé d'un contrôle d'uniformité distribué qui aide à équilibrer les taux de gravure sur l'ensemble du substrat. Il a une fonction de protection d'uniformité de CD améliorée pour maintenir une vitesse de gravure uniforme. Cette caractéristique garantit que les spécifications d'uniformité CD sont respectées même dans les technologies de dispositifs critiques. De plus, LAM RESEARCH Rainbow 4520 dispose d'une fonction d'auto-sauvetage qui aide à rétablir un bon taux de gravure même en présence de points chauds ou de failles de masque. Rainbow 4520 dispose également d'un système intégré de polarisation des bords (EBS) pour aider à minimiser la non-uniformité à l'intérieur des plaquettes. Cette fonctionnalité ainsi que la fonction ChemRanging permet de maximiser le rendement et le débit de gravure des plaquettes. LAM RESEARCH Rainbow 4520 est un choix idéal pour les procédés technologiques de pointe et est un complément parfait à toute installation de gravure de semi-conducteurs.